[發明專利]一種減少ALD工藝管路顆粒的方法

無效

• 申請號: 201210158711.2
• 申請日: 2012-05-22
• 公開（公告）號: CN102703882A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 江潤峰
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種減少ALD工藝管路顆粒的方法，包括：進氣管路、出氣管路、氣源瓶以及反應腔，所述進氣管路與所述出氣管路均與氣源瓶連接，所述出氣管遠離氣源瓶的一端連接反應腔，其特征在于，使所述氣源瓶中注入反應前驅液體，所述進氣管路連接氣源瓶的一端向氣源瓶底延伸，使進氣管路的出氣口位于所述反應前驅液體的液面之下，所述出氣管路連接氣源瓶的一端向氣源瓶底延伸，使出氣管路的出氣口位于所述反應前驅液體的液面之上，所述出氣管路外設有加熱保護套。

2.根據權利要求1所述的減少ALD工藝管路顆粒的方法，其特征在于，所述加熱保護套的加熱溫度為135度。

3.根據權利要求1所述的減少ALD工藝管路顆粒的方法，其特征在于，所述進氣管路與所述氣源瓶的連接處為密封方式連接。

4.根據權利要求1所述的減少ALD工藝管路顆粒的方法，其特征在于，所述出氣管路與所述氣源瓶以及反應腔的連接處為密封方式連接。

5.根據權利要求1所述的減少ALD工藝管路顆粒的方法，其特征在于，所述出水管路中設有凈化氣體管。