[發(fā)明專利]一種多線切割晶棒斷線后的救棒處理方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210157346.3
• 申請日: 2012-05-21
• 公開（公告）號: CN103419288A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王文廣;周光進(jìn);應(yīng)紅飛
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晟輝科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 杭州之江專利事務(wù)所(普通合伙) 33216
• 代理人: 林蜀

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種多線切割晶棒斷線后的救棒處理方法。

背景技術(shù)

目前，在晶棒切割成片的生產(chǎn)過程中，當(dāng)多線切割機(jī)出現(xiàn)斷線問題時(shí)，通常采用卸棒后清水超聲的處理方法，即停機(jī)后將切割中的晶棒抬離線網(wǎng)，并從工件夾上取下，置于超聲池中用純水洗凈晶棒表面及線縫中砂漿，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中水分，再重新將晶棒裝上工件夾，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，之后繼續(xù)切割；在上述方法中，完全洗凈晶棒需要一般需要幾個(gè)甚至十多個(gè)小時(shí)，不僅費(fèi)時(shí)、費(fèi)力、費(fèi)水，而且重裝時(shí)需要精確掌握原來的晶棒位置，如果位置偏移，會使硅片彎曲，造成報(bào)廢，并產(chǎn)生再次斷線，導(dǎo)致救棒的成功率不高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供能提高救棒成功率和生產(chǎn)效率的一種多線切割晶棒斷線后的救棒處理方法。

本發(fā)明采取的技術(shù)方案是：一種多線切割晶棒斷線后的救棒處理方法，其特征在于首先，將切割機(jī)上的晶棒抬離線網(wǎng)，并將一側(cè)開口的超聲容器放置于主輥之間以及晶棒的下部，使晶棒置于超聲容器內(nèi)，之后將超聲容器的開口側(cè)采用超聲振板封擋上，然后，在超聲容器內(nèi)注入清水直至沒過晶棒切割位置，保持清水流動(dòng)，啟動(dòng)超聲電源，清洗晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液20～60分鐘后，停止注入清水并排完超聲容器內(nèi)的水；其次，在超聲容器內(nèi)倒入無水乙醇直至沒過晶棒切割位置，啟動(dòng)超聲電源，清洗晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液殘留及其他雜質(zhì)5～15分鐘后，將清洗使用過的無水乙醇排掉，用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中無水乙醇；最后，將斷線處鋼線接上，并緩速啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)輪，將多線切割線接頭處運(yùn)行離開切割晶棒的工作區(qū)域，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，繼續(xù)切割。

采用本發(fā)明，因無需將晶棒從工件夾上取下，切割時(shí)的原點(diǎn)位置容易尋找，重裝對刀時(shí)降低了誤差，可提高救棒的成功率；由于通過先清水后無水乙醇的超聲清洗，能更有效的除去晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液；同時(shí)，不需要把斷線的線網(wǎng)剪掉重新鋪線，既節(jié)約了成本，又縮短了操作時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。?

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體的實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

1、將多線切割機(jī)上的晶棒抬離線網(wǎng)；

2、將一只一定大小的一側(cè)開口的超聲容器放置于主輥之間以及晶棒的下部，將晶棒完全置于超聲容器內(nèi)，然后將超聲容器的開口側(cè)采用超聲振板封擋上；

3、在超聲容器中注入清水直至沒過晶棒切割位置，保持清水流動(dòng)，啟動(dòng)超聲電源，清洗晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液20～60分鐘后，停止注入清水并排完超聲容器內(nèi)的水；

4、在超聲容器內(nèi)倒入無水乙醇直至完全沒過晶棒切割位置，啟動(dòng)超聲電源，清洗晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液殘留及其他雜質(zhì)5～15分鐘，將清洗使用過的無水乙醇排掉；

5、采用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中無水乙醇；

6、將斷線處鋼線接上，并緩速啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)輪，將多線切割線接頭處運(yùn)行離開切割晶棒的工作區(qū)域，上升工作臺，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，繼續(xù)切割。