[發(fā)明專利]一種多線切割晶棒斷線后的救棒處理方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210157346.3 | 申請(qǐng)日: | 2012-05-21 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103419288A | 公開(公告)日: | 2013-12-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王文廣;周光進(jìn);應(yīng)紅飛 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江晟輝科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | B28D5/04 | 分類號(hào): | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 杭州之江專利事務(wù)所(普通合伙) 33216 | 代理人: | 林蜀 |
| 地址: | 324300 浙江省衢州*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 切割 斷線 處理 方法 | ||
1.一種多線切割晶棒斷線后的救棒處理方法,其特征在于首先,將切割機(jī)上的晶棒抬離線網(wǎng),并將一側(cè)開口的超聲容器放置于主輥之間以及晶棒的下部,使晶棒置于超聲容器內(nèi),之后將超聲容器的開口側(cè)采用超聲振板封擋上,然后,在超聲容器內(nèi)注入清水直至沒過(guò)晶棒切割位置,保持清水流動(dòng),啟動(dòng)超聲電源,清洗晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液20~60分鐘后,停止注入清水并排完超聲容器內(nèi)的水;其次,在超聲容器內(nèi)倒入無(wú)水乙醇直至沒過(guò)晶棒切割位置,啟動(dòng)超聲電源,清洗晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液殘留及其他雜質(zhì)5~15分鐘后,將清洗使用過(guò)的無(wú)水乙醇排掉,用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中無(wú)水乙醇;最后,將斷線處鋼線接上,并緩速啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)輪,將多線切割線接頭處運(yùn)行離開切割晶棒的工作區(qū)域,將線網(wǎng)對(duì)入晶棒線縫,繼續(xù)切割。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于浙江晟輝科技有限公司,未經(jīng)浙江晟輝科技有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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