[發明專利]基片夾持裝置在審
| 申請號: | 201210154797.1 | 申請日: | 2012-05-17 |
| 公開(公告)號: | CN102683257A | 公開(公告)日: | 2012-09-19 |
| 發明(設計)人: | 藍劾;覃海;楊明生 | 申請(專利權)人: | 東莞宏威數碼機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞市南城*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 夾持 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及一種對薄板狀的基片進行夾持的夾持裝置,尤其涉及一種對有機發光顯示器和太陽能電池板中的基片進行可靠夾持的基片夾持裝置。
背景技術
利用OLED(英文全稱為:Organic?Light-Emitting?Diode,中文名稱為:有機發光二極管)制造的OLED顯示器,由于其具備輕薄(面板厚度一般小于2毫米)、省電(操作電壓一般為3伏至10伏之間)等特性,因此在數碼產品的顯示屏上得到了廣泛應用,并且具有較大的市場潛力,目前世界上對OLED的應用都聚焦在平板顯示器上,因為OLED是唯一在應用上能和TFT-LCD相提并論的技術,且是目前所有顯示技術中,唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術,可以做成和紙張一樣的厚度。因此,OLED的顯示技術是將來的顯示技術的發展方向。
眾所周知,在OLED顯示器的制造過程中,會涉及到眾多的工序,并借助相應的設備、機構或裝置對OLED顯示器中的基片進行相應的處理。其中,在基片的高速加工過程中,或者需要對基片進行夾持的場合中,為了防止加工過程中的基片的松動,生產廠家一般會使用到機械手,借助該機械手的夾持功能去夾持基片,從而實現基片的夾持目的。
然而,機械手的傳動結構均是十分復雜的,且傳動方式也是越多,為了確保傳動精度和強度,相應地,對組成機械手的各個部件提出更高的強度和精度要求,一方面增加了機械手的制造難度,相應地增加了制造成本,另一方面使得傳動能耗和部件的損耗大,維護不便。
同時,在制造太陽能電池板中對其基片也存在上述同樣的問題。
因此,急需要一種基片夾持裝置來克服上述的缺陷。
發明內容
本發明的目的在于提供一種基片夾持裝置,該基片夾持裝置能解決機械手的高強度和高精度的問題,同時,還具有結構緊湊、安裝方便、維護容易的優點。
為實現上述的目的,本發明提供了一種基片夾持裝置,適應于對有機發光顯示器和太陽能電池板中的基片進行夾持,其中,所述基片夾持裝置包括驅動器、底板及相互配合的第一夾緊件和第二夾緊件。所述第一和第二夾緊件均樞接于所述底板的一端并具有夾緊部和推動部,所述第一和第二夾緊件的夾緊部之間形成一夾緊區,所述第一和第二夾緊件的推動部之間形成一推動區,所述驅動器安裝在所述底板的另一端,所述驅動器的輸出端設置有與所述推動區相對應的推動件,所述驅動器通過驅使所述推動件伸入所述推動區內去頂推所述推動部沿張開的方向旋轉,旋轉的所述推動部帶動所述夾緊部沿縮小所述夾緊區的方向旋轉進而夾持該夾緊區內的基片。
較佳地,所述推動件為一斜面滑塊以簡化推動件的結構。具體地,所述斜面滑塊的一側為沿伸入方向呈縮小該斜面滑塊兩側間距的斜面結構,一所述推動部與所述斜面結構滑動抵觸,所述斜面滑塊的另一側為沿伸入方向呈縮小該斜面滑塊兩側間距的臺階狀的平面結構,另一所述推動部與所述平面結構滑動抵觸,且所述平面結構沿伸入方向依次包括第一平面結構和第二平面結構,所述第一平面結構和第二平面結構的連接處為一弧形結構。具體地,與所述平面結構滑動抵觸的所述推動部上設置有一限制該推動部旋轉程度的限位塊,與所述平面結構滑動抵觸的所述推動部由所述第二平面結構滑動到所述第一平面結構處,則所述限位塊與所述底板相抵觸限位,使得推動件在驅動器的推動下,能快速且可靠地伸入推動區內,且借助斜面滑塊的斜面結構,第一平面結構和第二平面結構連接處的弧形結構,以及限位塊的設置,使得伸入推動區內的推動件能可靠且同步地驅使推動部沿張開的方向旋轉時,還能帶動夾緊部沿縮小夾緊區的方向旋轉進而可靠地夾持夾緊區內的基片,與此同時,確保與平面結構相配合的推動部每一次只能旋轉到一個固定位置處,而與斜面結構配合的推動部則可以根據要夾持基片的厚度而旋轉到不同的位置,從而使得本發明的基片夾持裝置能適應于對不同厚度的基片進行夾持。
較佳地,本發明的基片夾持裝置還包括彈性元件,所述彈性元件連接于兩所述推動部之間,為張開的推動部的復位提供復位力,故在推動件滑出推動區后,使夾緊部沿擴大夾緊區的方向張開以便于基片置于夾緊區內。
較佳地,所述推動部上樞接有一滾輪,所述滾輪伸入所述推動區內,以便于推動件能快速地伸入推動區內,同時,還使得推動件能可靠地驅使推動部做可靠的旋轉運動。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





