[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖案的形成方法、印刷線路板的制造方法

在審

• 申請號: 201210141658.5
• 申請日: 2012-05-09
• 公開（公告）號: CN102778815A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 深谷雄大;宮坂昌宏;磯純一
• 申請（專利權）人: 日立化成工業株式會社
• 主分類號: G03F7/033
• 分類號: G03F7/033;G03F7/00;H05K3/06
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 張楠;陳建全

1.一種感光性樹脂組合物，其含有（A）粘合劑聚合物、（B）具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物和（C）光聚合引發劑，

所述（A）成分含有50～80質量%的（a1）來自（甲基）丙烯酸芐基酯衍生物的結構單元、5～40質量%的（a2）來自苯乙烯衍生物的結構單元、1～20質量%的（a3）來自（甲基）丙烯酸烷基酯的結構單元、以及5～30質量%的（a4）來自（甲基）丙烯酸的結構單元。

2.一種感光性元件，其具備支撐膜以及形成于該支撐膜上的由權利要求1所述的感光性樹脂組合物構成的感光性樹脂組合物層。

3.一種抗蝕圖案的形成方法，其包含：

在基板上層疊由權利要求1所述的感光性樹脂組合物構成的感光性樹脂組合物層的層疊工序；

在所述感光性樹脂組合物層上形成光固化部的曝光工序；和

將除了所述光固化部以外的所述感光性樹脂組合物層進行除去的顯影工序。

4.一種抗蝕圖案的形成方法，其包含：

將權利要求2所述的感光性元件按照所述感光性樹脂組合物層、所述支撐膜的順序層疊于基板上的層疊工序；

在所述感光性樹脂組合物層上形成光固化部的曝光工序；和

將除了所述光固化部以外的所述感光性樹脂組合物層進行除去的顯影工序。

5.一種印刷線路板的制造方法，其對通過權利要求3或4所述的抗蝕圖案的形成方法而形成有抗蝕圖案的基板，實施蝕刻處理或鍍覆處理。