[發(fā)明專利]一種透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210136712.7
• 申請(qǐng)日: 2012-05-04
• 公開（公告）號(hào): CN102646759A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐東;徐永;任昌義
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市科聚新材料有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一、獲得鋅鹽或銦鹽與摻雜金屬鹽的溶膠溶液，其中，溶膠溶液的粘度為15～20mPa·s，所述鋅鹽或者銦鹽中鋅或者銦的濃度為0.1～1mol/L，鋅與摻雜金屬的摩爾比值為0.001~0.03，銦與摻雜金屬的摩爾比值為0.05~0.15；

步驟二、將成膜介質(zhì)浸入到所述溶膠溶液中，停留1～30s，然后以1～300cm/min的速度將所述介質(zhì)提拉出所述溶膠液面，隨后在80°C～300°C下保持0.5～30min，冷卻；

步驟三、重復(fù)步驟二至所述成膜介質(zhì)上的膜厚達(dá)到所需厚度，獲得所述透明導(dǎo)電氧化物薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，所述鋅鹽或銦鹽與摻雜金屬鹽的溶膠溶液的配制步驟為：

將鋅鹽或銦鹽加入到有機(jī)溶劑中，再加入與該鋅鹽或銦鹽等摩爾比的穩(wěn)定劑，置于60°C～100°C的溫度下，攪拌0.5h～10h，獲得鋅鹽或銦鹽溶液；

將摻雜金屬鹽溶于有機(jī)溶劑中，獲得摻雜金屬鹽溶液；

將所述鋅鹽或銦鹽溶液與摻雜金屬鹽溶液混合，在50°C～150°C下攪拌0.5h～10h后，靜置24h～48h，獲得鋅鹽或銦鹽與摻雜金屬鹽的溶膠溶液。

3.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，所述有機(jī)溶劑為異丙醇、乙酰丙酮、乙二醇甲醚中的至少一種，所述穩(wěn)定劑為二乙醇胺和/或單乙醇胺。

4.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，所述鋅鹽與摻雜金屬鹽的溶膠溶液中，摻雜金屬鹽為鋁鹽、鎵鹽、銦鹽和鉬鹽中的至少一種；所述銦鹽與摻雜金屬鹽的溶膠溶液中，摻雜金屬鹽為錫鹽、鎳鹽和鉬鹽中至少一種。

5.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，所述厚度為300nm～500nm。

6.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，所述鋅鹽、銦鹽和摻雜金屬鹽為其相應(yīng)的醇鹽、醋酸鹽、乙烯丙酮鹽、硝酸鹽、氯化鹽中的至少一種。

7.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，所述溶膠溶液的粘度為17～18mPa·s。

8.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，所述在80°C～300°C下保持0.5～30min的過(guò)程分為干燥和熱處理兩步依次進(jìn)行，將提拉后的成膜介質(zhì)置于80°C～150°C下干燥，時(shí)間為0.5min～15min，獲得凝膠薄膜，再將凝膠薄膜置于150°C～300°C下預(yù)熱處理，時(shí)間為0.5min～15min。

9.如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，還包括對(duì)所述透明導(dǎo)電氧化物薄膜進(jìn)行退火的步驟，所述退火的溫度為250°C～800°C，時(shí)間為10min～3h。

10.如權(quán)利要求9所述的透明導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，還包括對(duì)所述透明導(dǎo)電氧化物薄膜在還原氣氛中進(jìn)行二次退火處理的步驟，所述二次退火處理的溫度為250°C～800°C，時(shí)間為0.5min～1h。