[發(fā)明專利]基板檢查裝置、基板檢查方法和存儲介質(zhì)

有效

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• 申請日: 2012-05-03
• 公開（公告）號: CN102809570A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 久野和哉;富田浩;古閑法久;西山直;早川誠
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及例如對半導(dǎo)體晶片或LCD基板（液晶顯示器用玻璃基板）等的基板進(jìn)行攝像、進(jìn)行檢查的基板檢查裝置、基板檢查方法和存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造中的光蝕刻法工序中，例如依次進(jìn)行在半導(dǎo)體晶片（以下稱為晶片）上涂敷抗蝕劑形成抗蝕劑膜的抗蝕劑涂敷處理、在該抗蝕劑膜上曝光規(guī)定的圖案的曝光處理、和對已曝光的抗蝕劑膜進(jìn)行顯影的顯影處理等，在晶片上形成規(guī)定的抗蝕劑圖案。

而且，對于進(jìn)行了一系列的光蝕刻法的晶片，例如搬入在進(jìn)行上述抗蝕劑涂敷處理和顯影處理的涂敷、顯影裝置內(nèi)設(shè)置的檢查裝置，并通過設(shè)置于檢查裝置內(nèi)的照相機(jī)對其表面進(jìn)行攝像。該被攝像的晶片的圖像顯示于輸出畫面，并基于該顯示檢查是否在晶片的表面形成有規(guī)定的抗蝕劑膜，另外是否在其表面有傷、異物的附著等。

在該攝像時，晶片被設(shè)置于檢查裝置的照明部照射，但該照明部的照度因時效劣化而逐漸降低，若在照度降低了的環(huán)境下進(jìn)行攝像，則檢查的精度降低。因此，作為檢查裝置的定期維護(hù)，有時將在其表面未形成有抗蝕劑膜等各種膜的調(diào)整用晶片輸送到該檢查裝置，根據(jù)對該調(diào)整用晶片進(jìn)行攝像獲得的圖像來確認(rèn)照明部的明亮度。而且，在根據(jù)上述圖像判定照明部的照度比基準(zhǔn)降低的情況下，進(jìn)行照明部的更換和/或圖像的亮度的放大率的調(diào)整。此外，以后為了與調(diào)整用晶片區(qū)別，單獨(dú)記載為晶片時，表示用于制造半導(dǎo)體的晶片。

使用涂敷、顯影裝置的輸送機(jī)構(gòu)，將調(diào)整用晶片從輸送到涂敷、顯影裝置的裝載口的專用的載體輸送到檢查裝置。這樣，將專用的載體輸送到裝載口需要勞力和時間，而且在該載體和檢查裝置之間輸送調(diào)整用晶片的期間，必須使上述輸送機(jī)構(gòu)的晶片的輸送停止，所以在這樣的檢查中，不能在涂敷、顯影裝置進(jìn)行晶片的處理。所以，通過進(jìn)行這樣的維護(hù)，具有吞吐量的降低變大的問題。另外，由于這樣進(jìn)行維護(hù)需要勞力和時間，因此具有若抑制進(jìn)行維護(hù)的次數(shù)，則即使照明部的照度比基準(zhǔn)高也更換該照明部，或在與基準(zhǔn)相比照明部的照度比基準(zhǔn)低的狀態(tài)下也繼續(xù)檢查的問題。

在專利文獻(xiàn)1中雖然記載有對于從燈（lamp）放射的光的發(fā)光強(qiáng)度、光譜分布等，與目標(biāo)值進(jìn)行比較，基于其結(jié)果報知是否需要進(jìn)行該燈的更換的照明裝置，但關(guān)于對上述的晶片進(jìn)行攝像時的問題并未記載，不能解決該問題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2001-201431（段落0041等）

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

本發(fā)明是在這樣的情況下完成的，其目的是提供不向裝置輸送調(diào)整用基板、能夠防止產(chǎn)生由照明部的照度的降低引起的基板的檢查的不順利的技術(shù)。

用于解決問題的方法

本發(fā)明的基板檢查裝置，從照明部對載置于設(shè)置在機(jī)箱內(nèi)的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進(jìn)行攝像，基于其攝像結(jié)果進(jìn)行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括：

模式選擇部，用于在檢查模式和維護(hù)模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于上述載置臺的基板為被攝體進(jìn)行攝像來進(jìn)行檢查，所述維護(hù)模式用于確認(rèn)照明部的照度；

導(dǎo)光部件，設(shè)置于上述機(jī)箱內(nèi)，用于將上述照明部的光導(dǎo)向上述攝像元件；

判定部，對在維護(hù)模式執(zhí)行時經(jīng)由上述導(dǎo)光部件通過攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預(yù)先設(shè)定的容許范圍內(nèi)進(jìn)行判定；和

報知部，用于當(dāng)由上述判定部判定為上述亮度在上述容許范圍外時，報知需要進(jìn)行照明部的更換。

本發(fā)明的其它的基板檢查裝置，從照明部對載置于設(shè)置在機(jī)箱內(nèi)的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進(jìn)行攝像，基于其攝像結(jié)果進(jìn)行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括：

模式選擇部，用于在檢查模式和維護(hù)模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于上述載置臺的基板為被攝體進(jìn)行攝像來進(jìn)行檢查，所述維護(hù)模式用于確認(rèn)照明部的照度；

導(dǎo)光部件，設(shè)置于上述機(jī)箱內(nèi)，用于在上述維護(hù)模式執(zhí)行時將上述照明部的光導(dǎo)向上述攝像元件；

放大部，為了即使在上述照明部的照度降低時也使檢查結(jié)果穩(wěn)定，對從攝像元件輸出的亮度信號進(jìn)行放大，并且其放大率可變；和

放大率調(diào)整部，在維護(hù)模式執(zhí)行時，基于經(jīng)由上述導(dǎo)光部件、攝像元件和上述放大部取得的照明部的光的亮度和預(yù)先設(shè)定的亮度，對所述放大率進(jìn)行調(diào)整。

本發(fā)明的具體的方式，例如如下所述。

（1）具有：判定部，對上述放大率是否超過預(yù)先設(shè)定的容許值進(jìn)行判定；和報知部，用于當(dāng)由上述判定部判定為放大率超過上述容許值時，報知需要進(jìn)行照明部的更換。