[發明專利]基板檢查裝置、基板檢查方法和存儲介質

有效

• 申請號: 201210135466.3
• 申請日: 2012-05-03
• 公開（公告）號: CN102809570A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 久野和哉;富田浩;古閑法久;西山直;早川誠
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種基板檢查裝置，從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括：

模式選擇部，用于在檢查模式和維護模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于所述載置臺的基板為被攝體進行攝像來進行檢查，所述維護模式用于確認照明部的照度；

導光部件，設置于所述機箱內，用于將所述照明部的光導向所述攝像元件；

判定部，對在維護模式執行時經由所述導光部件通過攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內進行判定；和

報知部，用于當由所述判定部判定為所述亮度在所述容許范圍外時，報知需要進行照明部的更換。

2.一種基板檢查裝置，從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括：

模式選擇部，用于在檢查模式和維護模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于所述載置臺的基板為被攝體進行攝像來進行檢查，所述維護模式用于確認照明部的照度；；

導光部件，設置于所述機箱內，用于在所述維護模式執行時將所述照明部的光導向所述攝像元件；

放大部，為了即使在所述照明部的照度降低時也使檢查結果穩定，對從攝像元件輸出的亮度信號進行放大，并且其放大率可變；和

放大率調整部，在維護模式執行時，基于經由所述導光部件、攝像元件和所述放大部取得的照明部的光的亮度和預先設定的亮度，對所述放大率進行調整。

3.如權利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，具有：

判定部，對所述放大率是否超過預先設定的容許值進行判定；和

報知部，用于當由所述判定部判定為放大率超過所述容許值時，報知需要進行照明部的更換。

4.如權利要求2或3所述的基板檢查裝置，其特征在于，具有：

存儲部，存儲所述已被調整的放大率和從更換所述照明部到決定所述放大率的期間；和

顯示部，相關聯地顯示存儲于所述存儲部的放大率和所述期間。

5.如權利要求1～4中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于：

導光部件，在所述維護模式執行時將照明部的光導向所述攝像元件，在檢查模式執行時不將照明部的光導向攝像元件。

6.如權利要求5所述的基板檢查裝置，其特征在于：

用于在維護模式執行時在載置臺未載置基板時，進行通過導光部件向攝像元件的導光的光路，在檢查模式執行時被載置于載置臺的基板遮斷。

7.如權利要求5所述的基板檢查裝置，其特征在于：

設置有驅動機構，其使導光部件相對于所述照明部在用于將來自該照明部的光導向攝像元件的第一位置和不將來自該照明部的光導向攝像元件的第二位置之間相對移動。

8.如權利要求1～7中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述導光部件由用于反射照明部的光將其照射到攝像元件的反射部件構成。

9.如權利要求1～8中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于：

所述維護模式在基板未位于所述照明部的光的照射區域時執行。

10.一種基板檢查方法，其特征在于，包括：

從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查的工序；

通過設置于所述機箱內的導光部件，為了確認照明部的照度而將所述照明部的光導向所述攝像元件的工序；

對經由所述導光部件被攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內進行判定的工序；和

當由所述判定部判定為所述亮度在所述容許范圍外時，由報知部報知需要進行照明部的更換的工序。