[發明專利]正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法

無效

• 申請號: 201210132628.8
• 申請日: 2012-04-27
• 公開（公告）號: CN102778816A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 劉騏銘;施俊安
• 申請（專利權）人: 奇美實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1368
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本發明是有關于一種正型感光性樹脂組成物及其圖案形成方法，特別是有關于一種使用在半導體集成電路元件、薄膜晶體管(thin-film?transistor；TFT)的液晶顯示元件或觸控面板的制造中，經時安定性佳且分辨率高的正型感光性樹脂組成物及其圖案形成方法。?

背景技術

近年來由于半導體及液晶顯示器產業蓬勃發展，個人計算機及顯示器的需求擴大，技術突飛猛進，導致高分辨率的要求日益提高。為了達到上述要求，一般使用高鄰位酚醛清漆樹脂(high-ortho?novolac?resin)搭配感光劑做為正型感光性樹脂組成物(例如日本公開特許2009-192571)。?

而在半導體集成電路元件、薄膜晶體管(TFT)的液晶顯示元件或觸控面板的工藝中，為提高良率，上述組成物通?？山栌烧{整感光劑的用量以得到較高的曝光寬容度(exposure?latitude)，然而，往往卻導致該感光性樹脂組成物有經時安定性劣化的問題。?

有鑒于此，亟需提出一種正型感光性樹脂組成物，借以改善現有習知的正型感光性樹脂組成物分辨率低且經時安定性不佳等缺點。?

由此可見，上述現有的正型感光性樹脂組成物在方法、產品結構及使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。因此如何能創設一種新的正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。?

發明內容

本發明的目的在于，克服現有的正型感光性樹脂組成物存在的缺陷，而提供一種新的正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法，所要解決的技術問題是使其提供一種經時定定性佳的正型感光性樹脂組成物，該感光性樹脂組成物至少包含酚醛清漆樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸類的酯化物(B)、染料(C)以及溶劑(D)，非常適于實用。?

本發明的另一目的在于，克服現有的正型感光性樹脂組成物存在的缺陷，而提供一種新型結構的正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法，所要解決的技術問題是使其提供一種形成圖案的方法，其利用?上述正型感光性樹脂組成物依序經預烤處理、曝光處理、顯影處理及后烤處理，而與基板形成分辨率高的圖案，從而更加適于實用。?

本發明的還一目的在于，克服現有的正型感光性樹脂組成物存在的缺陷，而提供一種新的正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法，所要解決的技術問題是使其提供一種薄膜晶體管陣列基板，其具有上述正型感光性樹脂組成物形成的圖案，從而更加適于實用。?

本發明的再一目的在于，克服現有的正型感光性樹脂組成物存在的缺陷，而提供一種新型結構的正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法，所要解決的技術問題是使其提供一種液晶顯示元件，其具備上述薄膜晶體管陣列基板，借此改善現有習知的正型感光性樹脂組成物經時安定性不佳及分辨率低等缺點，從而更加適于實用，且具有產業上的利用價值。?

本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的一種正型感旋光性樹脂組成物，其中包含：一酚醛清漆樹脂(A)；一鄰萘醌二迭氮磺酸類的酯化物(B)；一染料(C)；以及一溶劑(D)；其中，該酚醛清漆樹脂(A)含有18％-25％亞甲基鍵結于鄰位-鄰位上的高鄰位酚醛清漆樹脂(A-1)。?

本發明與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。由以上技術方案可知，本發明的主要技術內容如下：正型感光性樹脂組成物包括酚醛清漆樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸類的酯化物(B)、染料(C)以及溶劑(D)，以下析述。?

酚醛清漆樹脂(A)?

本發明的酚醛清漆樹脂(A)包含高鄰位酚醛清漆樹脂(A-1)，并可選擇性包含其它酚醛清漆樹脂(A-2)。上述的高鄰位酚醛清漆樹脂(A-1)一般由芳香族羥基化合物及醛類，在2價金屬鹽觸媒存在下，于酸性(pH值為1至5)下經減壓脫水后縮合而得。另可選擇性再添加酸觸媒進行脫水縮合反應，并除去未反應的單體，其中此脫水縮合反應可參閱日本專利文獻特開昭55-090523號公報、特開昭59-080418號公報及特開昭62-230815號公報，此處不另敘述。?