[發明專利]正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法無效
| 申請號: | 201210132628.8 | 申請日: | 2012-04-27 |
| 公開(公告)號: | CN102778816A | 公開(公告)日: | 2012-11-14 |
| 發明(設計)人: | 劉騏銘;施俊安 | 申請(專利權)人: | 奇美實業股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/039 | 分類號: | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1368 |
| 代理公司: | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人: | 壽寧;張華輝 |
| 地址: | 中國臺灣臺南*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 樹脂 組成 使用 形成 圖案 方法 | ||
1.一種正型感光性樹脂組成物,其特征在于其包含:
一酚醛清漆樹脂(A);
一鄰萘醌二疊氮磺酸類的酯化物(B);
一染料(C);以及
一溶劑(D);
其中,該酚醛清漆樹脂(A)含有18%-25%亞甲基鍵結于鄰位-鄰位上的高鄰位酚醛清漆樹脂(A-1)。
2.如權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物,其特征在于其基于該酚醛清漆樹脂(A)為100重量份,該高鄰位酚醛清漆樹脂(A-1)的使用量介于30重量份至100重量份。
3.如權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物,其特征在于其基于該酚醛清漆樹脂(A)為100重量份,該高鄰位酚醛清漆樹脂(A-1)的使用量介于40重量份至100重量份。
4.如權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物,其特征在于其基于該酚醛清漆樹脂(A)為100重量份,該高鄰位酚醛清漆樹脂(A-1)的使用量介于50重量份至100重量份。
5.如權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物,其特征在于其基于該酚醛清漆樹脂(A)為100重量份,該染料(C)的使用量為0.1重量份至5重量份。
6.如權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物,其特征在于其該染料(C)含有選自于由酸性染料、堿性染料、直接染料、硫化染料、建染染料、萘酚染料、反應染料、分散染料及油溶性染料所組成的族群的至少一種染料。
7.一種圖案形成方法,其特征在于其由對一如權利要求1至6中任一權利要求所述的正型感光性樹脂組成物依序施予一預烤步驟、一曝光步驟、一顯影步驟及一后烤處理步驟而于基板形成圖案。
8.一種薄膜晶體管陣列基板,其特征在于其包含一如權利要求7所述方法形成的圖案。
9.一種液晶顯示元件,其特征在于其包含一如權利要求8所述的薄膜晶體管陣列基板。
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