[發(fā)明專利]發(fā)光二極體封裝制程及其封裝結(jié)構(gòu)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210129491.0 | 申請日: | 2012-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN103378264A | 公開(公告)日: | 2013-10-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 彭建忠;洪梓健;沈佳輝 | 申請(專利權(quán))人: | 展晶科技(深圳)有限公司;榮創(chuàng)能源科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/48 | 分類號: | H01L33/48;H01L33/62;H01L33/64;H01L27/15 |
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| 地址: | 518109 廣東省深圳市寶*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 發(fā)光 二極體 封裝 及其 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種發(fā)光二極體封裝制程,其包括以下的步驟:
提供一個LED芯片,在所述LED芯片上以晶粒尺寸蝕刻至N型半導(dǎo)體層,并于所述N型半導(dǎo)體層形成一個粗糙層,
設(shè)置N、P型電極襯墊,在所述晶粒上形成一個第一絕緣層,并在電極位置蝕刻所述第一絕緣層以成長所述電極襯墊,
串聯(lián)所述晶粒,電性連接至少二個所述晶粒并以一個第二絕緣層覆蓋,所述第二絕緣層的表層形成所述N、P型電極襯墊的一個外部電極,
提供一個電極基板,所述電極基板上具有N、P型電極圖案,及
形成高壓LED芯片,以所述電極基板電性連接串聯(lián)的所述晶粒。
2.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述提供一個LED芯片步驟中,所述N型半導(dǎo)體層設(shè)置在一個基板上,所述N型半導(dǎo)體層內(nèi)具有一個氮化鋁層,通過濕式蝕刻或是干式蝕刻方式在所述LED芯片上以溝槽切割出復(fù)數(shù)個晶粒,所述溝槽的蝕刻深度為到達所述N型半導(dǎo)體層超過所述氮化鋁層但是未到達所述基板。
3.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述提供一個LED芯片步驟中,所述粗糙層是以酸性或堿性溶液于所述溝槽內(nèi)對所述N型半導(dǎo)體層122層進行蝕刻,使所述晶粒的N型半導(dǎo)體層側(cè)面形成所述粗糙層。
4.如權(quán)利要求3所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述酸性或堿性溶液可以是氫氧化鉀KOH、硫酸H2SO4、鹽酸HCI或是硝酸HNO3。
5.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述設(shè)置N、P型電極襯墊步驟中,所述第一絕緣層覆蓋所述溝槽以及所述晶粒表面具有的一個導(dǎo)電層,所述導(dǎo)電層為所述P型電極襯墊的電極位置,所述N型電極襯墊的電極位置在所述N型半導(dǎo)體層上,未到達所述氮化鋁層。
6.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述串聯(lián)所述晶粒步驟中,所述晶粒通過相鄰的所述N、P型電極襯墊之間形成的一個電極導(dǎo)線進行串聯(lián),所述第二絕緣層覆蓋串聯(lián)的所述晶粒包括所述電極導(dǎo)線以及所述第一絕緣層。
7.如權(quán)利要求6所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述串聯(lián)的所述晶粒留有單一的所述N、P型電極襯墊,在單一的所述N、P型電極襯墊位置蝕刻移除所述第二絕緣層,以沉積電極方式形成所述外部電極。
8.如權(quán)利要求7所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述外部電極的N型外部電極為N型電極襯墊的延伸,所述P型外部電極為所述P型電極襯墊的擴展,擴展的所述P型外部電極覆蓋所述第二絕緣層,但不包括所述N型外部電極以及非串聯(lián)的所述晶粒。
9.如權(quán)利要求6所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述第二絕緣層以及所述第一絕緣層的材料為二氧化硅SiO2或氮化硅SiN。
10.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述提供一個電極基板步驟中,所述N、P型電極圖案是設(shè)置在所述電極基板的一個表面上,所述N、P型電極圖案由復(fù)數(shù)個所述N、P型電極單元組合構(gòu)成,所述N、P型電極單元由一個所述N型電極搭配一個所述P型電極。
11.如權(quán)利要求10所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述N、P型電極的材料為金Au、銀Ag、鉻Cr、鎳Ni、銅Cu、類鉆碳Diamond-Like?Carbon、石墨烯Graphene或其合金之復(fù)合材料。
12.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述形成高壓LED芯片步驟中,所述電極基板電性連接串聯(lián)的所述晶粒,是使所述N型電極與所述N型外部電極以及所述P型電極與所述P型外部電極分別一對一的電性連接。
13.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極體封裝制程,其特征在于:所述形成高壓LED芯片步驟中,進一步包括高壓LED芯片表面粗化步驟,是移除所述LED芯片的所述基板,再蝕刻所述N型半導(dǎo)體層的表面形成所述粗糙層。
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