[發(fā)明專利]氣體過濾處理結(jié)構(gòu)、尾氣處理系統(tǒng)和相應(yīng)氣體處理方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210121524.7
• 申請(qǐng)日: 2012-04-23
• 公開（公告）號(hào): CN103071353A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫仁君;田益西
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光達(dá)光電設(shè)備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號(hào): B01D50/00
• 分類號(hào): B01D50/00;C23C16/44
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及用于化學(xué)氣相沉積工藝的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)、尾氣處理系統(tǒng)、延長(zhǎng)MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的使用壽命的方法和MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法。

背景技術(shù)

MOCVD(Metal-Organic?Chemical?Vapor?Deposition)是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種化學(xué)氣相外延沉積工藝。它以III族、II族元素的有機(jī)化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)的源材料，以熱分解反應(yīng)方式在石墨盤上進(jìn)行沉積工藝，生長(zhǎng)各種III-V族、II-VI族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

在化學(xué)氣相工藝過程中反應(yīng)腔室中氣體需要經(jīng)過過濾系統(tǒng)，將氣體中的顆粒等物質(zhì)過濾，然后經(jīng)過相應(yīng)的化學(xué)處理過后才能向外部排放。具體地，請(qǐng)結(jié)合圖1所示的現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。彎管30的一端與上游反應(yīng)腔室10相連接，另一端與下游過濾器20相連，所述彎管30與過濾器20共同構(gòu)成了MOCVD設(shè)備的過濾系統(tǒng)。來(lái)自上游反應(yīng)腔室10的氣體經(jīng)過彎管30進(jìn)入過濾器20，經(jīng)過過濾器20過濾后的氣體流向?qū)?yīng)的化學(xué)處理部件。

在實(shí)際中，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有的MOCVD設(shè)備的利用率(uptime)偏低，無(wú)法滿足應(yīng)用的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例解決的問題是提供了用于化學(xué)氣相沉積工藝的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)、尾氣處理系統(tǒng)、延長(zhǎng)MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的濾芯的使用壽命的方法和MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法，減小了流向下游過濾器的濾芯中的顆粒，從而延長(zhǎng)了過濾器以及濾芯的使用周期，減少了化學(xué)氣相沉積設(shè)備(包括MOCVD設(shè)備)因?yàn)榍逑春突?更換過濾器而產(chǎn)生的停機(jī)時(shí)間，因而提高了化學(xué)氣相沉積設(shè)備的利用率。

為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種氣體過濾處理結(jié)構(gòu)，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應(yīng)腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉(zhuǎn)彎處設(shè)置有預(yù)收集過濾部件，所述預(yù)收集過濾部件沿氣體流動(dòng)的方向設(shè)置，所述預(yù)收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對(duì)氣體中的顆粒進(jìn)行預(yù)收集過濾處理。

可選地，所述氣體過濾處理結(jié)構(gòu)用于MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)。

可選地，所述彎管上游設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)，所述冷卻結(jié)構(gòu)用于對(duì)來(lái)自反應(yīng)腔室的氣體進(jìn)行冷卻處理，所述預(yù)收集過濾部件對(duì)所述冷卻結(jié)構(gòu)冷卻后的氣體進(jìn)行預(yù)收集過濾處理。

可選地，所述預(yù)收集過濾部件與所述彎管結(jié)合為一體或可以相互分離。

可選地，所述預(yù)收集過濾部件采用一體成型的方式制作。

可選地，所述預(yù)收集過濾部件為管狀。

可選地，所述預(yù)收集過濾部件內(nèi)還設(shè)置有過濾網(wǎng)或?yàn)V芯。

可選地，所述過濾網(wǎng)或?yàn)V芯能夠與所述預(yù)處理過濾部件相互分離。

可選地，所述預(yù)收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯(lián)接方式結(jié)合為一體，所述預(yù)收集過濾部件的另一端封閉或所述預(yù)收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預(yù)收集過濾部件形成容納顆粒物質(zhì)的空間。

可選地，所述預(yù)收集過濾部件的一端與所述彎管結(jié)合為一體，所述預(yù)收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得所述預(yù)收集過濾部件形成容納顆粒物質(zhì)的空間。

相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的尾氣處理系統(tǒng)，包括所述的氣體過濾處理結(jié)構(gòu)。

相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種延長(zhǎng)MOCVD設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)的過濾器的濾芯的使用壽命的方法，所述尾氣處理系統(tǒng)包括連接上游反應(yīng)腔室和下游過濾器的彎管，所述過濾器具有濾芯，氣體自上游反應(yīng)腔室流向下游過濾器時(shí)，對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)收集處理，將氣體中的顆粒物質(zhì)去除。

可選地，所述預(yù)收集處理通過在彎管處設(shè)置預(yù)收集管道進(jìn)行，所述預(yù)收集管道的一端與所述彎管相連接，另一端封閉。

可選地，在進(jìn)行所述預(yù)收集處理前，還包括對(duì)所述氣體進(jìn)行冷卻處理，使得氣體中的顆粒凝結(jié)。

相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種MOCVD設(shè)備的尾氣處理方法，所述方法利用彎管連接上游反應(yīng)腔室和下游帶有濾芯的過濾器，尾氣在經(jīng)過上游流向下游的過程中，在彎管處對(duì)尾氣進(jìn)行預(yù)收集過濾處理，將尾氣中的顆粒去除。

可選地，在對(duì)尾氣進(jìn)行預(yù)收集過濾處理前，還包括對(duì)尾氣進(jìn)行冷卻處理的步驟，使得尾氣中的顆粒凝結(jié)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：