[發明專利]氣體過濾處理結構、尾氣處理系統和相應氣體處理方法

無效

• 申請號: 201210121524.7
• 申請日: 2012-04-23
• 公開（公告）號: CN103071353A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 孫仁君;田益西
• 申請（專利權）人: 光達光電設備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;C23C16/44
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種氣體過濾處理結構，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，其特征在于，所述彎管的轉彎處設置有預收集過濾部件，所述預收集過濾部件沿氣體流動的方向設置，所述預收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預收集過濾處理。

2.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述氣體過濾處理結構用于MOCVD設備的尾氣處理系統。

3.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述彎管上游設置有冷卻結構，所述冷卻結構用于對來自反應腔室的氣體進行冷卻處理，所述預收集過濾部件對所述冷卻結構冷卻后的氣體進行預收集過濾處理。

4.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件與所述彎管結合為一體或可以相互分離。

5.如權利要求4所述的氣體過濾結構，其特征在于，所述預收集過濾部件采用一體成型的方式制作。

6.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件為管狀。

7.如權利要求5所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件內還設置有過濾網或濾芯。

8.如權利要求7所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述過濾網或濾芯能夠與所述預處理過濾部件相互分離。

9.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯接方式結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端封閉或所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。

10.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得所述預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。

11.一種用于化學氣相沉積工藝的尾氣處理系統，其特征在于，包括如權利要求1所述的氣體過濾處理結構。

12.一種延長MOCVD設備的尾氣處理系統的過濾器的使用壽命的方法，所述尾氣處理系統包括連接上游反應腔室和下游過濾器的彎管，所述過濾器具有濾芯，其特征在于，氣體自上游反應腔室流向下游過濾器時，對氣體進行預收集處理，將氣體中的顆粒物質去除。

13.如權利要求12所述的延長MOCVD設備的尾氣處理系統的過濾器的使用壽命的方法，其特征在于，所述預收集處理通過在彎管處設置預收集管道進行，所述預收集管道的一端與所述彎管相連接，另一端封閉。

14.如權利要求12所述的延長MOCVD設備的尾氣處理系統的過濾器的使用壽命的方法，其特征在于，在進行所述預收集處理前，還包括對所述氣體進行冷卻處理，使得氣體中的顆粒凝結。

15.一種MOCVD設備的尾氣處理方法，所述方法利用彎管連接上游反應腔室和下游帶有濾芯的過濾器，其特征在于，尾氣在經過上游流向下游的過程中，在彎管處對尾氣進行預收集過濾處理，將尾氣中的顆粒去除。

16.如權利要求15所述的MOCVD設備的尾氣處理方法，其特征在于，在對尾氣進行預收集過濾處理前，還包括對尾氣進行冷卻處理的步驟，使得尾氣中的顆粒凝結。