[發(fā)明專利]高頻電力分配裝置以及使用其的基板處理裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210120760.7
• 申請日: 2012-04-23
• 公開（公告）號: CN102820198A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 花輪健一;富田尚宏
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;舒艷君

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在一個腔室內(nèi)對多個基板進(jìn)行等離子體處理時所使用的高頻電力分配裝置以及使用了該高頻電力分配裝置的基板處理裝置。

背景技術(shù)

以往，作為在一個腔室內(nèi)對多個基板進(jìn)行等離子體處理的裝置，公知有如下的裝置，在腔室內(nèi)設(shè)置多對陽極及陰極電極，從在腔室外設(shè)置的電源經(jīng)由匹配器(matching?box)后分支成陰極電極的數(shù)目個的電力導(dǎo)入線被設(shè)置為相互對稱狀地延伸，并將這些電力導(dǎo)入線與各陰極電極連接以供給高頻電力(例如，專利文獻(xiàn)1)。

在該專利文獻(xiàn)1中，具體而言，在匹配器(matching?box)與陰極電極之間，利用分支為2根后再分別進(jìn)一步分支成2根的多級分支來分配陰極電極的數(shù)目份的高頻電力。由此，無需借助特別的調(diào)整機構(gòu)，就能夠向室內(nèi)的多個放電空間均等地進(jìn)行電力供給。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-196681號公報。

然而，在專利文獻(xiàn)1的技術(shù)中，由于匹配器輸出部的阻抗低，所以由于組裝等的微小的差異就會產(chǎn)生較大的電流差異。另外，在利用多級分支方式來分配高頻電力的情況下，由于不能使用同軸電纜作為供電線，所以可按每一個電極投入的高頻功率產(chǎn)生偏差。因此，在專利文獻(xiàn)1的技術(shù)中，實際在腔室內(nèi)的多個放電空間的處理中產(chǎn)生偏差，會導(dǎo)致產(chǎn)品的特性差異。另外，由于在低阻抗電路中流過大電流，所以由于發(fā)熱引起的功率損耗較大。另外，在以2根為單位地進(jìn)行分支的多級分支方式的情況下，能夠分支的級數(shù)被限定為2ⁿ級(n為正的整數(shù))，不能分配為任意的數(shù)目。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于該情況而提出的，其目的在于提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)用于處理基板的多個放電空間的每一個的處理的偏差小、功率損耗小且能夠?qū)⒏哳l電力均等地分配成任意的數(shù)目的高頻電力分配裝置以及使用了該高頻電力分配裝置的基板處理裝置。

為了解決上述課題，在本發(fā)明的第1觀點中，提供一種高頻電力分配裝置，在通過向多個平行平板電極供給高頻電力來生成等離子體，并以批量處理方式處理多個基板的基板處理裝置中，將從高頻電源輸出的高頻電力均等地分配提供給上述多個平行平板電極，其特征在于，具有：配電部件，其將被輸入的高頻電力均等地分支為多份；同軸傳輸線，其由將上述配電部件所分支的高頻電力向上述多個平行平板電極傳輸?shù)闹行墓╇娋€以及該中心供電線周圍的接地線構(gòu)成；以及阻抗調(diào)整機構(gòu)，其用于調(diào)整輸入側(cè)的阻抗以使電流值降低，上述配電部件具有：由板狀的導(dǎo)體構(gòu)成的本體；向上述本體的一方主面的輸入點輸入高頻電力的高頻電力輸入部；和在以上述本體的另一方主面的與上述輸入點對應(yīng)的點為中心的圓周上等間隔地被配置了多個的高頻電力輸出部，上述同軸傳輸線分別與上述配置了多個的高頻電力輸出部連接，上述阻抗調(diào)整機構(gòu)被設(shè)置于上述高頻電力輸入部。

在本發(fā)明的第2觀點中，提供一種基板處理裝置，其利用等離子體以批量處理方式處理多個基板，其特征在于，具有：多個平行平板電極，用于按每個基板產(chǎn)生上述等離子體；高頻電源，其向上述多個平行平板電極的高頻電力施加電極供給高頻電力；匹配器，其使設(shè)置在上述高頻電源與上述多個高頻電力施加電極之間的阻抗匹配；高頻電力分配裝置，其被設(shè)置在上述匹配器與上述多個高頻電力施加電極之間，用于將從上述高頻電源經(jīng)由上述匹配器供給的高頻電力均等地分配提供給上述多個高頻電力施加電極，上述高頻電力分配裝置具有：配電部件，其將被輸入的高頻電力均等地分支成多份；同軸傳輸線，其由將上述配電部件所分支的高頻電力向上述多個高頻電力施加電極傳輸?shù)闹行墓╇娋€以及該中心供電線周圍的接地線構(gòu)成；以及阻抗調(diào)整機構(gòu)，其用于調(diào)整輸入側(cè)的阻抗以使電流值降低，上述配電部件具有：由板狀的導(dǎo)體構(gòu)成的本體；向上述本體的一方主面的輸入點輸入高頻電力的高頻電力輸入部；和在以上述本體的另一方主面的與上述輸入點對應(yīng)的點為中心的圓周上等間隔地被配置了多個的高頻電力輸出部，上述同軸傳輸線分別與上述配置了多個的高頻電力輸出部連接，上述阻抗調(diào)整機構(gòu)被設(shè)置于上述高頻電力輸入部。