[發明專利]高頻電力分配裝置以及使用其的基板處理裝置

無效

• 申請號: 201210120760.7
• 申請日: 2012-04-23
• 公開（公告）號: CN102820198A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 花輪健一;富田尚宏
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;舒艷君

1.一種高頻電力分配裝置，在通過向多個平行平板電極供給高頻電力來生成等離子體，并以批量處理方式處理多個基板的基板處理裝置中，將從高頻電源輸出的高頻電力均等地分配提供給上述多個平行平板電極，其特征在于，具有：

配電部件，其將被輸入的高頻電力均等地分支為多份；

同軸傳輸線，其由將上述配電部件所分支的高頻電力向上述多個平行平板電極傳輸的中心供電線以及該中心供電線周圍的接地線構成；以及

阻抗調整機構，其用于調整輸入側的阻抗以使電流值降低，

上述配電部件具有：由板狀的導體構成的本體；向上述本體的一方主面的輸入點輸入高頻電力的高頻電力輸入部；和在以上述本體的另一方主面的與上述輸入點對應的點為中心的圓周上等間隔地被配置了多個的高頻電力輸出部，

上述同軸傳輸線分別與上述配置了多個的高頻電力輸出部連接，

上述阻抗調整機構被設置于上述高頻電力輸入部。

2.根據權利要求1所述的高頻電力分配裝置，其特征在于，

上述阻抗調整機構具有與上述高頻電力輸入部并聯連接的電容器。

3.根據權利要求1或者2所述的高頻電力分配裝置，其特征在于，

上述同軸傳輸線與向上述平行平板電極導入高頻電力的導入端子連接，在上述同軸傳輸線與該導入端子的連接部具有阻抗調整功能。

4.一種基板處理裝置，其利用等離子體以批量處理方式處理多個基板，其特征在于，具有：

多個平行平板電極，用于按每個基板產生上述等離子體；

高頻電源，其向上述多個平行平板電極的高頻電力施加電極供給高頻電力；

匹配器，其使設置在上述高頻電源與上述多個高頻電力施加電極之間的阻抗匹配；

高頻電力分配裝置，其被設置在上述匹配器與上述多個高頻電力施加電極之間，用于將從上述高頻電源經由上述匹配器供給的高頻電力均等地分配提供給上述多個高頻電力施加電極，

上述高頻電力分配裝置具有：

配電部件，其將被輸入的高頻電力均等地分支成多份；

同軸傳輸線，其由將上述配電部件所分支的高頻電力向上述多個高頻電力施加電極傳輸的中心供電線以及該中心供電線周圍的接地線構成；以及

阻抗調整機構，其用于調整輸入側的阻抗以使電流值降低，

上述配電部件具有：由板狀的導體構成的本體；向上述本體的一方主面的輸入點輸入高頻電力的高頻電力輸入部；和在以上述本體的另一方主面的與上述輸入點對應的點為中心的圓周上等間隔地被配置了多個的高頻電力輸出部，

上述同軸傳輸線分別與上述配置了多個的高頻電力輸出部連接，

上述阻抗調整機構被設置于上述高頻電力輸入部。

5.根據權利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述高頻電力分配裝置的上述阻抗調整機構具有與上述高頻電力輸入部并聯連接的電容器。

6.根據權利要求4或者5所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述高頻電力分配裝置的上述同軸傳輸線與向上述平行平板電極導入高頻電力的導入端子連接，在上述同軸傳輸線與該導入端子的連接部具有阻抗調整功能。

7.根據權利要求4至6中的任意一項所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述高頻電力施加電極具有分別被配置于對置的第1端部與第2端部的至少一對的高頻電力供給點。

8.根據權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，

從第1高頻電源向上述第1端部的高頻電力供給點供給高頻電力，從第2高頻電源向上述第2端部的高頻電力供給點供給電力。

9.根據權利要求8所述的基板處理裝置，其特征在于，

上述第1高頻電源與上述第2高頻電源通過相位控制器連接。

10.根據權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，

從共同的高頻電源經由功率分配器向上述第1端部的高頻電力供給點和上述第2端部的高頻電力供給點供給高頻電力。

11.根據權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，

從共同的高頻電源經由相位控制/功率分配器向上述第1端部的高頻電力供給點和上述第2端部的高頻電力供給點供給高頻電力。