[發(fā)明專利]一種液晶面板、液晶顯示裝置及其陣列基板的制作方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210118751.4
• 申請(qǐng)日: 2012-04-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102636929A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭揚(yáng)霖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1362
• 分類號(hào): G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1335;H01L21/77;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦;丁建春

1.一種液晶面板，其特征在于：

所述液晶面板包括間隔設(shè)置的彩色濾光基板和陣列基板；

所述陣列基板鄰近彩色濾光基板的表面設(shè)置有若干像素單元，所述像素單元包括薄膜晶體管、像素電極以及電連接薄膜晶體管和像素電極的貫穿孔；

其中，所述像素單元之間或像素單元內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)與貫穿孔一同采用偵測(cè)蝕刻終點(diǎn)模式蝕刻法形成的輔助孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶面板，其特征在于：

所述彩色濾光基板鄰近陣列基板的表面設(shè)置有黑色矩陣，所述黑色矩陣遮擋輔助孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶面板，其特征在于：

所述陣列基板是像素分割垂直配向液晶顯示器的陣列基板，所述輔助孔鄰近像素電極的一端設(shè)置。

4.一種液晶顯示裝置，所述液晶顯示裝置包括液晶面板和背光模組，所述背光模組為液晶面板提供光源，其特征在于：

所述液晶面板包括間隔設(shè)置的彩色濾光基板和陣列基板；

所述陣列基板鄰近彩色濾光基板的表面設(shè)置有若干像素單元，所述像素單元包括薄膜晶體管、像素電極以及電連接薄膜晶體管和像素電極的貫穿孔；

其中，所述像素單元之間或像素單元內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)與貫穿孔一同采用偵測(cè)蝕刻終點(diǎn)模式蝕刻法形成的輔助孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置，其特征在于：

所述彩色濾光基板鄰近陣列基板的表面設(shè)置有黑色矩陣，所述黑色矩陣遮擋輔助孔。

6.一種陣列基板的制作方法，其特征在于，包括：

在玻璃基板上形成作為像素單元一部分的薄膜晶體管，所述像素單元形成于玻璃基板的第一區(qū)域內(nèi)，所述第一區(qū)域?qū)?yīng)于玻璃基板的最小切割面板單元，所述玻璃基板上定義有至少兩個(gè)間隔設(shè)置的第一區(qū)域，所述玻璃基板上的第一區(qū)域之間區(qū)域定義為第二區(qū)域，所述玻璃基板上的所有第一區(qū)域之外的周邊區(qū)域定義為第三區(qū)域；

采用偵測(cè)蝕刻終點(diǎn)模式蝕刻法在所述玻璃基板上形成貫穿孔，所述貫穿孔電連接薄膜晶體管和后續(xù)蝕刻制程中所形成的像素電極，在所述偵測(cè)蝕刻終點(diǎn)模式蝕刻過(guò)程中，同時(shí)在所述第一區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域中的至少一區(qū)域內(nèi)形成輔助孔，并且利用偵測(cè)蝕刻終點(diǎn)模式的測(cè)試方法對(duì)形成貫穿孔和輔助孔時(shí)的干蝕刻環(huán)境中的蝕刻劑以及生成物的濃度進(jìn)行偵測(cè)，形成偵測(cè)數(shù)據(jù)；在形成偵測(cè)數(shù)據(jù)之后，將所述偵測(cè)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)變?yōu)閭蓽y(cè)電壓。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于：

所述形成輔助孔的步驟，包括：將所述輔助孔形成于玻璃基板上對(duì)應(yīng)彩色濾光基板的黑色矩陣的位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于：

所述形成輔助孔的步驟包括：形成所述輔助孔，并使得所述輔助孔鄰近像素電極的一端設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于：

所述輔助孔設(shè)置于第二區(qū)域或第三區(qū)域的電子線路相對(duì)較少的位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于：

所述陣列基板上包括只存在絕緣層的第四區(qū)域和剩余的第五區(qū)域，所述輔助孔設(shè)置于第四區(qū)域。