[發(fā)明專利]中介板及其電性測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210111652.3
• 申請(qǐng)日: 2012-04-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103325771A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程呂義;邱啟新;邱世冠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 矽品精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/538
• 分類號(hào): H01L23/538;H01L21/66
• 代理公司: 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽(yáng)

1.一種中介板，其包括：

基材，其具有相對(duì)的第一表面與第二表面，該第一表面具有多個(gè)第一電性連接墊，且該第二表面具有多個(gè)第二電性連接墊；

多個(gè)導(dǎo)電通孔，其形成于該基材中而貫穿該基材的第一表面與第二表面，并令該導(dǎo)電通孔的兩端分別電性連接該第一電性連接墊與第二電性連接墊；以及

第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)，其形成于該第一表面上，以令部分所述第一電性連接墊之間電性導(dǎo)通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)與該第一電性連接墊為一體形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)為于該第一電性連接墊與第一表面上形成的金屬層或線路層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該第一電性連接墊上還具有第一凸塊底下金屬層，且該第二電性連接墊上還具有第二凸塊底下金屬層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該第一表面上還具有至少一第一線路重布層，且該第二表面上還具有至少一第二線路重布層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該中介板的第一表面還包括測(cè)試墊，其電性連接該第一電性連接墊。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該中介板還包括第二可移除式電性連接結(jié)構(gòu)，其形成于部分所述第二電性連接墊之間，令該第一電性連接墊、第二電性連接墊、第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)、第二可移除式電性連接結(jié)構(gòu)與導(dǎo)電通孔共同定義出菊鏈接構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該中介板還包括導(dǎo)電凸塊，其形成于該第二電性連接墊上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中介板，其特征在于，該基材的厚度不超過(guò)200微米。

10.一種中介板的電性測(cè)試方法，其包括：

提供一中介板，其包含：

基材，其具有相對(duì)的第一表面與第二表面，該第一表面具有多個(gè)第一電性連接墊，且該第二表面具有多個(gè)第二電性連接墊；

多個(gè)導(dǎo)電通孔，其形成于該基材中而貫穿該基材的第一表面與第二表面，并令該導(dǎo)電通孔的兩端分別電性連接該第一電性連接墊與第二電性連接墊；以及

第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)，其形成于該第一表面上，以令部分所述第一電性連接墊之間電性導(dǎo)通；

利用多個(gè)探針電性連接該中介板，以測(cè)試該中介板；以及

移除該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)與該第一電性連接墊為一體形成。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)為于該第一電性連接墊與第一表面上形成的金屬層或線路層。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，于測(cè)試該中介板之后，還包括將該中介板具有該第二電性連接墊的側(cè)接置于承載件上。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，該方法還包括將該中介板具有該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)的側(cè)接置于承載板上，并于移除該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)之前移除該承載板。

15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，該第一電性連接墊上還具有第一凸塊底下金屬層，且該第二電性連接墊上還具有第二凸塊底下金屬層。

16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，該第一表面上還具有至少一第一線路重布層，且該第二表面上還具有至少一第二線路重布層。

17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，測(cè)試該中介板的方式為將全部所述探針連接對(duì)應(yīng)該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)的該第二電性連接墊。

18.根據(jù)權(quán)利要求10所述的中介板的電性測(cè)試方法，其特征在于，測(cè)試該中介板的方式為將一部份所述探針連接對(duì)應(yīng)該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)的該第二電性連接墊，并將另一部份所述探針連接未對(duì)應(yīng)該第一可移除式電性連接結(jié)構(gòu)的該第二電性連接墊。