[發(fā)明專利]一種多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210104003.0
• 申請日: 2012-04-11
• 公開（公告）號: CN103365107A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設計）人: 馬琳琳;方立;孫剛
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，包括以下步驟：

（a）執(zhí)行離線測量，分別獲取所述多離軸對準系統(tǒng)中的各對準子系統(tǒng)的參考位置，所述對準子系統(tǒng)包括基準離軸對準系統(tǒng)和非基準離軸對準系統(tǒng)；

（b）分別利用所述對準子系統(tǒng)對準標準基板上的對準標記，并獲取所述標準基板上對準標記在工件臺坐標系下的位置；

（c）根據(jù)所述工件臺坐標系下的位置，計算標準基板相對于工件臺的位置關(guān)系以及所述位置關(guān)系的偏差值；

（d）執(zhí)行正常在線對準流程，分別用所述對準子系統(tǒng)對準基板上的標記，并獲取標記的在線對準位置；

（e）根據(jù)所述偏差值和所述參考位置，將非基準離軸對準系統(tǒng)獲取的在線對準位置轉(zhuǎn)換為基準離軸對準系統(tǒng)的在線對準位置，完成在線補償。

2.如權(quán)利要求1所述的多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，所述步驟b具體包括：（b.1）分別利用所述對準子系統(tǒng)對準標準基板上的對準標記，獲取所述標準基板上對準標記的離線對準位置；

???（b.2）將所述離線對準位置轉(zhuǎn)換為對準標記在工件臺坐標系下的位置。

3.如權(quán)利要求2所述的多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，所述步驟（b.2）中所使用的轉(zhuǎn)換公式為：???????????????????????????????????????????????

其中，?、分別表示所述對準子系統(tǒng)獲取的標記的X、Y向離線對準位置坐標，、分別表示所述對準子系統(tǒng)的參考位置的坐標，表示工件臺的旋轉(zhuǎn)角度。

4.如權(quán)利要求3所述的多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，所述位置關(guān)系的偏差值的計算方法包括：

（c.1）分別將所述對準子系統(tǒng)獲取的對準標記在工件臺坐標系下的位置分別代入模型，再通過擬和獲得標準基板相對于工件臺的位置關(guān)系，所述位置關(guān)系的參數(shù)包括平移、膨脹和旋轉(zhuǎn)，所述模型為：

其中：和分別表示標準基板的對準標記的名義位置的X向和Y向坐標，?和分別表示標準基板的對準標記在工件臺坐標系下X向和Y向的坐標；和分別表示標準基板X向和Y向的所述平移，和分別表示標準基板X向和Y向的所述膨脹，和分別表示標準基板X向和Y向的所述旋轉(zhuǎn)；

（c.2）求解所述模型后，將基準離軸對準系統(tǒng)與非基準子系統(tǒng)獲取的所述位置關(guān)系參數(shù)相減，得到所述偏差值即。

5.如權(quán)利要求1所述的多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，所述步驟c中還包括以下步驟：

（c.1）重復步驟（b）至步驟（c）以獲得至少兩組偏差值，根據(jù)所述至少兩組偏差值獲得平均偏差值；

（c.2）將所述平均偏差值保留在機器常數(shù)中以消除測量的隨機誤差。

6.如權(quán)利要求1所述的多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，所述多離軸對準系統(tǒng)包括兩個分系統(tǒng)，為左離軸系統(tǒng)和右離軸系統(tǒng)。

7.如權(quán)利要求4所述的多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，所述將非基準離軸對準系統(tǒng)獲取的在線對準位置轉(zhuǎn)換為基準離軸對準系統(tǒng)的在線對準位置的方法為，將所述在線對準位置、所述參考位置和所述偏差值代入以下轉(zhuǎn)換公式：

其中，、分別表示非基準離軸對準系統(tǒng)和基準離軸對準系統(tǒng)測得的X向在線對準位置；、分別表示非基準離軸對準系統(tǒng)和基準離軸對準系統(tǒng)測得的Y向在線對準位置；、分別表示非基準離軸對準系統(tǒng)和基準離軸對準系統(tǒng)的參考位置的X向坐標；、分別表示非基準離軸對準系統(tǒng)和基準離軸對準系統(tǒng)的參考位置的Y向坐標。

8.如權(quán)利要求1所述的多離軸對準系統(tǒng)匹配測校方法，其特征在于，所述多離軸對準系統(tǒng)為CCD。