[發明專利]低溫泵系統、壓縮機及低溫泵的再生方法

有效

• 申請號: 201210103669.4
• 申請日: 2012-04-10
• 公開（公告）號: CN102734123A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 松井孝聰
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

技術領域

本申請主張基于2011年4月11日申請的日本專利申請第2011-087169號的優先權。其申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

本發明涉及一種低溫泵系統、壓縮機及低溫泵的再生方法。

背景技術

低溫泵為通過凝縮或吸附將氣體分子捕捉到冷卻至超低溫的低溫板來排氣的真空泵。低溫泵一般為了實現半導體電路制造工藝等所要求的清潔的真空環境而被利用。低溫泵為了冷卻低溫板而包含制冷機。并且，設置有低溫泵上附帶且用于向制冷機供給高壓工作氣體的壓縮機。

專利文獻1：日本特開2000-266416號公報

專利文獻2：日本特開平4-148084號公報

制冷機為了冷卻低溫板而通過工作氣體的絕熱膨脹產生寒冷。為此優選供給至制冷機的工作氣體的溫度較低。因此作為工作氣體的供給源的壓縮機通常去除通過工作氣體的壓縮而產生的熱，并向制冷機送出工作氣體。

但是，作為為了再生低溫泵而加熱低溫板的方法之一，已知有制冷機的所謂逆轉升溫。逆轉升溫為使工作氣體的吸排氣時刻不同于冷卻運行來使工作氣體產生絕熱壓縮并由制冷機加熱低溫板的運行方法。典型的有通過使確定制冷機的吸排氣時刻的回轉閥與冷卻運行相反地旋轉來產生絕熱壓縮的方法。

發明內容

本發明鑒于這種狀況而完成，其某一方式的例示目的之一在于提高基于逆轉升溫的升溫能力。

本發明的某一方式的低溫泵系統具備：低溫泵，具備用于進行低溫板的冷卻運行和用于該低溫板的再生的升溫運行的制冷機；及壓縮機，用于向該制冷機供給工作氣體，其中，使所述壓縮機的供給工作氣體溫度在所述升溫運行中比在所述冷卻運行中高。

根據該方式，由于能夠向升溫運行中的制冷機供給比較高溫的工作氣體，因此能夠促進低溫板的升溫。由于能夠縮短低溫板再生中的升溫時間，因此能夠縮短再生所需的時間。

本發明的另一方式為用于低溫泵或制冷機的工作氣體的壓縮機，其為供給工作氣體溫度在升溫運行中比在該低溫泵或制冷機的冷卻運行中高。

本發明的另一方式為低溫泵的再生方法。該方法包含低溫板的升溫工序，該升溫工序包含使供給至用于冷卻低溫板的制冷機的工作氣體的溫度比升溫工序前高的步驟。

發明效果

根據本發明，能夠提高基于逆轉升溫的升溫能力。

附圖說明

圖1是示意地表示本發明的一實施方式所涉及的低溫泵的圖。

圖2是示意地表示本發明的一實施方式所涉及的壓縮機的圖。

圖3是用于說明本發明的一實施方式所涉及的再生方法的流程圖。

圖4是用于說明本發明的一實施方式所涉及的壓縮機中的流路切換控制的流程圖。

圖中：10-低溫泵，11-第1缸，12-第2缸，13-第1冷卻臺，14-第2冷卻臺，20-控制部，30-低溫泵容器，40-放射屏蔽，43-制冷機插通孔，50-制冷機，60-低溫板，70-通氣閥，72-粗抽閥，80-排出管路，82-排出導管，100-低溫泵系統，145-熱交換器，147-主流路，149-旁通路，151-三通閥。

具體實施方式

圖1是示意地表示本發明的一實施方式所涉及的低溫泵系統100的圖。低溫泵系統100具備低溫泵10、控制部20及壓縮機52。低溫泵10安裝于例如離子注入裝置或濺射裝置等的真空腔室內，為了將真空腔室內部的真空度提高至所希望的工藝所要求的水平而被使用。低溫泵10包含低溫泵容器30、放射屏蔽40及制冷機50而構成。

制冷機50為例如吉福德-麥克馬洪式制冷機(所謂GM制冷機)等制冷機。制冷機50具備第1缸11、第2缸12、第1冷卻臺13、第2冷卻臺14、閥驅動馬達16。第1缸11與第2缸12串聯連接。在第1缸11的與第2缸12的結合部側設置第1冷卻臺13，在第2缸12的遠離第1缸11的一側的端部設置第2冷卻臺14。圖1所示的制冷機50為二級式制冷機，通過串聯二級組合缸來實現更低的溫度。制冷機50通過制冷劑管18連接于壓縮機52。