[發(fā)明專利]低溫泵系統(tǒng)、壓縮機及低溫泵的再生方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210103669.4
• 申請日: 2012-04-10
• 公開（公告）號: CN102734123A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松井孝聰
• 申請（專利權(quán)）人: 住友重機械工業(yè)株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種低溫泵系統(tǒng)，其具備：低溫泵，具備用于進行低溫板的冷卻運行和用于該低溫板再生的升溫運行的制冷機；及壓縮機，用于向該制冷機供給工作氣體，其特征在于，

使所述壓縮機的供給工作氣體溫度在所述升溫運行中比在所述冷卻運行中高。

2.如權(quán)利要求1所述的低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，

還具備用于控制所述壓縮機的控制部，

所述壓縮機包含用于冷卻向所述制冷機供給的工作氣體的熱交換器和迂回該熱交換器的旁通路，

所述控制部根據(jù)所述制冷機的運行狀態(tài)，切換經(jīng)由所述熱交換器的流路和經(jīng)由所述旁通路的流路。

3.如權(quán)利要求1或2所述的低溫泵系統(tǒng)，其特征在于，

所述升溫運行包含從低溫板冷卻溫度高速加熱至升溫速度切換溫度的急速升溫及從該升溫速度切換溫度以低于所述急速升溫的速度加熱至用于再生的低溫板溫度的低速升溫，至少在所述急速升溫中升高供給工作氣體溫度。

4.一種壓縮機，其為用于低溫泵或制冷機的工作氣體的壓縮機，其特征在于，

供給工作氣體溫度在升溫運行中比在該低溫泵或制冷機的冷卻運行中高。

5.一種低溫泵的再生方法，其特征在于，

包含低溫板的升溫工序，該升溫工序包含使供給至用于冷卻低溫板的制冷機的工作氣體的溫度比升溫工序前高的步驟。