[發明專利]蒸汽收集

有效

• 申請號: 201210102890.8
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN102732840A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 郭倩;M·斯穆拉;M·J·施蒂納曼;H·R·薩馬妮
• 申請（專利權）人: 希捷科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 馬洪

1.一種用于在潤滑劑的物理蒸汽沉積過程中收集冷凝蒸汽的設備，所述設備包括：

封殼，所述封殼構造成與真空室內的一個或多個蒸汽源相鄰放置，所述封殼構造成保持在比所述一個或多個蒸汽源低的溫度下，所述封殼包括：

局部包封空間體積的內表面，所述空間構造成容納物體；以及

連接到所述封殼的所述內表面的一個或多個排水溝。

2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括在所述一個或多個蒸汽源中的每個蒸汽源與所述封殼之間的一個或多個隔熱間隔件。

3.如權利要求2所述的設備，其特征在于，所述隔熱間隔件包括小導熱率的陶瓷。

4.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述封殼由具有不大于80瓦/米·開爾文的導熱率的材料制成。

5.如權利要求1至4中任一項所述的設備，其特征在于，還包括連接到所述封殼的一個或多個導熱板，熱量經由所述導熱板導出所述封殼。

6.如權利要求1至4中任一項所述的設備，其特征在于，所述封殼還包括上護罩和下護罩，每個護罩具有成形為引導冷凝蒸汽離開所述物體的內表面。

7.如權利要求6所述的設備，其特征在于，還包括上護罩溝，所述上護罩溝構造成引導冷凝蒸汽從所述上護罩的所述內表面離開所述物體和蒸汽源。

8.一種構造用于在潤滑劑的物理蒸汽沉積過程中收集冷凝蒸汽的真空系統，所述系統包括：

構造成連接到真空泵送系統的室；

位于所述室內的一個或多個蒸汽源；

構造成與一個或多個蒸汽源相鄰放置的封殼，所述封殼包括：

基本上包封空間體積的內表面，所述空間構造成容納物體；以及

連接到所述封殼的所述內表面的一個或多個排水溝，

其中所述封殼由具有不大于80瓦/米·開爾文的導熱率的材料制成；以及

位于所述一個或多個蒸汽源中的每個蒸汽源與所述封殼之間的一個或多個隔熱間隔件。

9.如權利要求8所述的系統，其特征在于，還包括位于所述一個或多個蒸汽源中的每個蒸汽源與所述封殼之間的一個或多個隔熱間隔件，所述隔熱間隔件包括小導熱率的陶瓷。

10.如權利要求8或9所述的系統，其特征在于，所述封殼還包括上護罩和下護罩，每個護罩具有成形為引導冷凝蒸汽離開物體的內表面。