[發明專利]一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置及加工方法

無效

• 申請號: 201210102197.0
• 申請日: 2012-04-01
• 公開（公告）號: CN102637774A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 孫良欣;夏文斌;劉小龍
• 申請（專利權）人: 吉陽設備（海安）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京市商泰律師事務所 11255
• 代理人: 毛燕生

1.一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置及加工方法，其特征在于含有以下步驟：

步驟1、自動上料被處理物硅片；

步驟2、被處理物硅片進入2#酸腐蝕槽；

步驟3、被處理物硅片進入3#酸腐蝕槽；

步驟4、被處理物硅片進入4#QDR槽；

步驟5、被處理物硅片進入5#堿洗槽；

步驟6、被處理物硅片進入6#噴淋槽；

步驟7、被處理物硅片進入7#堿洗槽；

步驟8、被處理物硅片進入8#噴淋槽；

步驟9、被處理物硅片進入9#超聲波清洗槽；

步驟10、被處理物硅片進入10#超聲波清洗槽；

步驟11、被處理物硅片進入11#噴淋槽；

步驟12、被處理物硅片進入12#慢提拉槽；

步驟13、被處理物硅片進入13#自動下料；

上述步驟中腐蝕槽的堿洗藥液自動循環并鼓泡，確保藥液的均勻；

對腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側部設計排風管路，保持設備內部工作環境清潔，防止交叉污染。

2.根據權利要求1所述的一種全自動化SE電池量產腐蝕加工方法，其特征在于還含有以下步驟：

液位、溫度等參數檢測步驟；

液位：對槽體的液位補液箱的液位和加熱箱的液位進行時時控制起到保護作用；

溫度：對槽體的溫度補液箱的溫度和加熱箱的溫度進行時時控制起到保護作用；

自動、手動操作轉換步驟；

手動步驟：可以對每各閥門，泵，電機，加熱器單獨啟動，對機械手可以手動縱向和橫向到達任意位置；

自動步驟：對每個槽體自動補液，溫度自動調節，液位自動調節，機械手自動在槽體之間運送花籃，機械手到達每個槽工位時槽蓋將會自動開啟，離開時槽蓋將會自動關閉；

時間、溫度、搬送速度數字化設定步驟；

可以對時間、溫度和機械手的運行速度進行合理性設定，以達到生產工藝的要求；

對設備進行全方位的安全保護步驟，機械手急停、系統急停、機械手上下極限、左右極限開關啟動步驟；

對設備手動運行步驟，通過按鈕按照管路圖設定畫面對設備準備完成監視，每個槽體各種功能監視，包括液位，操蓋狀態，機械手到位狀態，泵和閥門的啟停，加熱器的啟停，報警顯示，報警記錄。

3.一種全自動化SE電池量產腐蝕裝置，其特征在于自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽、第二噴淋槽、第一堿洗槽、第三噴淋槽、第二堿洗槽、QDR槽、第一酸腐蝕槽、第二酸腐蝕槽、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。