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[發(fā)明專利]研磨方法、壓電振動片的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘表無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210100319.2 申請日: 2012-03-28
公開(公告)號: CN102723924A 公開(公告)日: 2012-10-10
發(fā)明(設(shè)計)人: 藤平洋一 申請(專利權(quán))人: 精工電子有限公司
主分類號: H03H3/02 分類號: H03H3/02;H03H9/21;G04G21/04
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 何欣亭;王忠忠
地址: 日本千葉*** 國省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 研磨 方法 壓電 振動 制造 振動器 振蕩器 電子設(shè)備 電波 鐘表
【權(quán)利要求書】:

1.一種研磨方法,將音叉用圓片保持于上平臺與下平臺之間的載體,其特征在于:

將厚度測定用的AT切割圓片配置于所述載體,將該AT切割圓片與所述音叉用圓片一起研磨,檢測該AT切割圓片的諧振頻率,基于該檢測結(jié)果控制所述音叉用圓片的厚度。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨方法,其特征在于:

在開始所述音叉用圓片的研磨之后,在既定時間內(nèi)檢測到既定次數(shù)以上的與所述音叉用圓片的期望厚度相對應(yīng)的所述AT切割圓片的諧振頻率的情況下,結(jié)束研磨。

3.如權(quán)利要求1或2所述的研磨方法,其特征在于:

將至少1個所述AT切割圓片配置于所述載體的中心位置。

4.如權(quán)利要求1或2所述的研磨方法,其特征在于:

在將多個所述音叉用圓片保持于所述載體的情況下,將所述AT切割圓片配置于相鄰的所述音叉用圓片之間。

5.如權(quán)利要求1或2所述的研磨方法,其特征在于:

所述AT切割圓片是圓板狀。

6.一種壓電振動片的制造方法,用于使用光刻技術(shù)在形成有壓電振動片的外形的壓電板的表面形成電極,其特征在于:

包括通過權(quán)利要求1或2的研磨方法研磨所述壓電板的工序。

7.一種壓電振動器,其特征在于:

具備通過權(quán)利要求6所述的壓電振動片的制造方法制造的壓電振動片。

8.一種振蕩器,其特征在于:

權(quán)利要求7所述的壓電振動器作為振子與集成電路電連接。

9.一種電子設(shè)備,其特征在于:

權(quán)利要求7所述的壓電振動器與計時部電連接。

10.一種電波鐘表,其特征在于:

權(quán)利要求7所述的壓電振動器與濾波器部電連接。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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