[發(fā)明專利]壓電振動器的制造方法、壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210099478.5 | 申請日： | 2012-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN102739181A | 公開（公告）日： | 2012-10-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 船曳陽一 | 申請（專利權(quán)）人： | 精工電子有限公司 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02;H03H9/02;G04C9/02 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;朱海煜 |
| 地址： | 日本千葉*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電 振動器 制造 方法 振蕩器 電子設(shè)備 電波 | ||
1.一種壓電振動器的制造方法，使用基底基板用圓片和蓋基板用圓片來制造多個在形成于互相接合的基底基板與蓋基板之間的空腔內(nèi)密封有壓電振動片的壓電振動器，其特征在于該方法具備：
接合工序，將所述壓電振動片收納于各個所述空腔，將所述基底基板用圓片和所述蓋基板用圓片接合而形成圓片體；和
切斷工序，將所述圓片體切斷而小片化成多個所述壓電振動器，其中，
所述切斷工序具備：
在所述基底基板用圓片側(cè)的外表面或所述蓋基板用圓片側(cè)的外表面沿著切斷線形成多個微小槽的工序；和
斷裂工序，從與所述圓片體的形成有所述微小槽的一側(cè)相反的一側(cè)按壓所述圓片體，沿著所述微小槽分割所述圓片體。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電振動器的制造方法，其特征在于：
在所述斷裂工序中，在將所述圓片體沿著所述壓電振動器的寬度方向切斷之后，沿著所述壓電振動器的長度方向切斷。
3.如權(quán)利要求1所述的壓電振動器的制造方法，其特征在于：
在所述切斷工序中，在將具有伸縮性的膜貼附于形成有所述微小槽的一方的面的狀態(tài)下，分割所述圓片體。
4.如權(quán)利要求1所述的壓電振動器的制造方法，其特征在于：
在形成所述微小槽時，取得所述圓片體的圖像，根據(jù)所取得的圖像的濃淡而決定形成微小槽的位置。
5.一種壓電振動器，其特征在于：
通過權(quán)利要求1至4的任一項所述的壓電振動器的制造方法而制造。
6.一種振蕩器，其特征在于：
權(quán)利要求5所述的壓電振動器作為振子與集成電路電連接。
7.一種電子設(shè)備，其特征在于：
權(quán)利要求5所述的壓電振動器與計時部電連接。
8.一種電波鐘，其特征在于：
權(quán)利要求5所述的壓電振動器與濾波部電連接。
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