[發明專利]有機電致發光顯示裝置的制造方法

無效

• 申請號: 201210097660.7
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN102738077A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 廣木知之;遠藤太郎;高谷格;石毛剛一;佐藤信彥
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L51/56
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李帆

1.有機電致發光顯示裝置的制造方法，該有機電致發光顯示裝置包括發光區域，該發光區域包括其中配置的多個有機電致發光元件，該有機電致發光元件的每一個包括第一電極、第二電極和該第一電極和該第二電極之間的有機化合物層，該有機化合物層至少包括發光層，該方法包括：

在形成該第一電極的整個發光區域中形成在水中不溶的有機化合物層；

以預定的圖案在該有機化合物層上形成含有水溶性材料的掩模層；

將沒有被該掩模層覆蓋的區域中形成的有機化合物層的一部分除去；

將該掩模層除去；

干燥該有機化合物層；和

在該有機化合物層上形成跨越該多個有機化合物層的共同層，

其中干燥該有機化合物層和形成共同層在真空中進行。

2.根據權利要求1的有機電致發光顯示裝置的制造方法，其中將該掩模層除去和干燥該有機化合物層在連續的室中進行。

3.根據權利要求1的有機電致發光顯示裝置的制造方法，其中該掩模層包括含有水溶性材料的層并且通過光刻法以預定的圖案形成。

4.根據權利要求1的有機電致發光顯示裝置的制造方法，其中該掩模層包括含有水溶性材料的層并且通過噴墨法以預定的圖案形成。

5.根據權利要求1的有機電致發光顯示裝置的制造方法，其中：

該掩模層包括含有氟化鋰的層；和

將該有機化合物層的一部分除去通過對預定區域以外的部分施以激光而進行。

6.有機電致發光顯示裝置的制造裝置，該有機電致發光顯示裝置包括發光區域，該發光區域包括其中兩維配置的多個有機電致發光元件，該有機電致發光元件的每一個包括第一電極、第二電極和該第一電極和該第二電極之間的有機化合物層，該有機化合物層至少包括發光層，該裝置包括：

用于干燥該有機化合物層的干燥室；和

用于在該有機化合物層上形成共同層的成膜室，

該干燥室和該成膜室能夠用真空泵抽真空。

7.根據權利要求6的有機電致發光顯示裝置的制造裝置，還包括用于除去掩模層的水洗處理室，

該水洗處理室能夠用真空泵抽真空，

該水洗處理室和該干燥室通過搬入室彼此連接。