[發明專利]清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置

有效

• 申請號: 201210093743.9
• 申請日: 2012-03-31
• 公開（公告）號: CN103357637A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 王家康;陳賢鴻;張宏文;吳志鴻
• 申請（專利權）人: 弘塑科技股份有限公司
• 主分類號: B08B15/00
• 分類號: B08B15/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 馮志云;鄭特強

技術領域

本發明是有關于一種排氣裝置，特別是用于清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置。

背景技術

一般旋轉機臺可用于涂布光阻，清洗或蝕刻晶圓或基板。清洗或蝕刻晶圓時，自轉盤飛濺出來的酸液由泄液槽收集排出，氣體則由排氣裝置排出，一般泄液槽接固定不動，而轉盤可以上下移動，如授予Franz?Sumnitsch等人的美國專利第4,903,717號專利揭示一種清洗蝕刻機臺，其轉盤即可上下移動，以選擇不同的泄液槽來排出酸液，而排氣裝置則集中將所有泄液槽的酸性氣體排出，各泄液槽容易互相污染。轉盤上下移動亦須帶動轉盤上的酸液及純水導管、噴嘴等，增加構造的復雜性。另一種技術則使轉盤固定在一定水平上，而泄液槽可上下移動使轉盤可以選擇不同的泄液槽來排出酸液。此技術用于本發明人同時申請的專利案，名為「具有移動式泄液槽的清洗蝕刻機臺」。因泄液槽可上下移動，排氣裝置若亦上下移動，將增加裝置的復雜度，因此有一種需求，能使排氣裝置固定不動，而且能分別排出各泄液槽的酸性氣體。

本發明即針對此一需求，提出一種能解決以上缺點的排氣裝置，以分別排出各泄液槽的酸性氣體而減少互相污染。

發明內容

本發明的目的在提供一種清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置，將腐蝕性氣體與其它較淡的腐蝕性氣體隔離排氣，以將腐蝕性氣體徹底排出。

本發明的次一目的在提供一種清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置，配合移動式泄液槽的位置以分配控制各抽風口，使無泄液槽對準的抽風口可選擇封閉或開啟。

本發明的再一目的在提供一種清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置，利用隔離毛刷使泄液槽的連接口與固定風箱的主抽風口及次抽風口連接形成軟性接觸而間隔主、次排氣流道，各連接口之間透過隔離毛刷隔離以保持靜壓。

為達成上述目的及其它目的，本發明的第一觀點教導一種清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置，是配合移動式泄液槽而設計，包括：一組固定風箱，具有主抽風口及次抽風口，主抽風口位于各抽風口的中央位置而連接至主抽風排氣管，以排出來自轉盤酸液的腐蝕性氣體，次抽風口連接至次抽風排氣管，以排出其它泄液槽較淡的腐蝕性氣體，次抽風口的數為主抽風口的上下各(N-1)個，N為泄液槽的槽數，故抽風口共有(N-1)+1+(N-1)＝2N-1個；一個主抽風排氣管，經主抽風排氣導管將主抽風口的氣體排出；一個次抽風排氣管，將次抽風口的氣體排出；一組隔離毛刷，使泄液槽的連接口與固定風箱的主抽風口及次抽風口連接形成軟性接觸而間隔主、次排氣流道，各連接口之間透過隔離毛刷隔離以保持靜壓；一組密封隔板，使該連接口與外界隔離，再次隔離腐蝕性氣體；一組傳動裝置，于泄液槽沿固定風箱上下移動時使連接口配合于預定位置，適時隔離次抽風排氣管，并可選擇開啟或關閉無泄液槽的抽風口。

附圖說明

圖1是依據本發明的實施例的清洗蝕刻機臺剖面透視圖。

圖2(A)是依據本發明的實施例的主排氣流道的示意圖。

圖2(B)是依據本發明的實施例的次排氣流道的示意圖。

圖3是依據本發明的實施例的隔離毛刷的透視圖。

圖4是依據本發明的實施例的泄液槽的連接口與固定風箱的主抽風口以隔離毛刷連接的剖面透視圖。

圖5是依據本發明的實施例的泄液槽與固定風箱以隔離毛刷連接的剖面圖。

符號說明

102、104、106、108??連接口

110??主抽風口??????????????112??主抽風口

114??次抽風排氣管??????????116??主抽風排氣管

113??固定風箱??????????????114??次抽風排氣管

116??主抽風排氣管??????????118??轉盤

122??旋轉馬達??????????????124??泄液槽

126??排氣裝置??????????????202??次排氣流道

204??主排氣流道????????302??隔離毛刷

402??連接界面??????????502??密封隔板

504??傳動裝置

具體實施方式

本發明的以上及其它目的及優點參考以下的參照圖示及最佳實施例的說明而更易完全了解。