[發明專利]清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置有效
| 申請號： | 201210093743.9 | 申請日： | 2012-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN103357637A | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發明（設計）人： | 王家康;陳賢鴻;張宏文;吳志鴻 | 申請（專利權）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B15/00 | 分類號： | B08B15/00 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 馮志云;鄭特強 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 蝕刻 機臺 移動式 泄液槽 排氣裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種清洗蝕刻機臺移動式泄液槽的排氣裝置，是配合移動式泄液槽而設計，使抽氣時機得與移動泄液槽互相配合，達完整適時抽取腐蝕性氣體的目的，其特征在于，至少包含：
一組固定風箱，具有主抽風口及次抽風口，該主抽風口連接至主抽風排氣管，以排出來自轉盤酸液的腐蝕性氣體，該次抽風口連接至次抽風排氣管，以排出其它泄液槽較淡的腐蝕性氣體；
一個主抽風排氣管，經主抽風排氣導管將該主抽風口的氣體排出；
一個次抽風排氣管，將該次抽風口的氣體排出；
一組隔離毛刷，使泄液槽的連接口與該固定風箱的主抽風口及次抽風口連接形成軟性接觸而間隔主、次排氣流道，各連接口之間透過該隔離毛刷隔離以保持靜壓；
一組密封隔板，使該連接口與外界隔離，再次隔離酸性氣體；
一組傳動裝置與風箱開關門，于泄液槽沿該固定風箱上下移動時使連接口配合于預定位置，適時隔離該次抽風排氣管，并關閉無泄液槽的抽風口。
2.如權利要求1的裝置，其特征在于，該主抽風口是在各抽風口的中央位置。
3.如權利要求1的裝置，其特征在于，該次抽風口的數為主抽風口的上下各(N-1)個，N為泄液槽的槽數，抽風口共有(N-1)+1+(N-1)＝2N-1個。
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