[發明專利]電性失效分析的測試方法及裝置

有效

• 申請號: 201210093391.7
• 申請日: 2012-03-31
• 公開（公告）號: CN103364713A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 周第廷;陸磊;張宇飛;謝振;陳宏領
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/302
• 分類號: G01R31/302
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種電性失效分析的測試方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供電性失效分析中各測試項的測試項函數；

根據電性失效分析的測試需求，確定電性失效分析的測試項，基于所述測試項形成測試項關聯數據，所述測試項關聯數據與所述測試項對應的測試項函數關聯；

提供對應所述測試需求的測試文件，所述測試文件包括關聯于測試項的測試項關聯數據及對應所述測試項關聯數據的測試參數；

運行所述測試文件，獲取測試結果；

根據測試結果和測試需求，在需修改測試文件時，調整所述測試參數。

2.如權利要求1所述的電性失效分析的測試方法，其特征在于，所述的測試文件還包括對應的測試項的運行順序；在需修改測試文件時，還包括調整所述測試項的運行順序。

3.如權利要求1所述的電性失效分析的測試方法，其特征在于，所述的測試項函數以節點形式鏈接存儲于一個函數鏈接表中，每個節點包含了測試項函數的名稱和地址；運行測試文件時，測試項關聯數據通過函數鏈接表中的測試項函數名稱找到測試項函數地址，并調用相應的測試項函數。

4.如權利要求1所述的電性失效分析的測試方法，其特征在于，所述的測試參數以節點形式鏈接存儲在一個變量鏈接表中，每個節點包含了測試變量的變量名和變量值；所述的測試文件提供一個函數，通過變量鏈接表中測試變量的變量名，獲取相對應的變量值。

5.如權利要求1所述的電性失效分析的測試方法，其特征在于，所述的測試方法通過基于C語言的測試平臺運行所述測試文件，所述測試平臺提供一測試程序，加載、編譯并執行該測試程序，所述測試程序包括讀取測試文件，并按測試文件執行相應操作。

6.一種電性失效分析的測試裝置，其特征在于，包括：

選擇單元，根據電性失效分析的測試需求，選擇電性失效分析的測試項；

存儲單元，存儲測試項關聯數據、測試項函數和測試參數，所述測試項關聯數據與所述測試項對應的測試項函數關聯；

編輯單元，根據選擇單元所選擇的測試項，從存儲單元中獲取對應的測試項關聯數據，并根據所述測試需求，添加對應所述測試項關聯數據的測試參數，以形成測試文件；

執行單元，執行測試文件，輸出測試結果；

調整單元，根據執行測試文件獲取的測試結果和所述測試需求，判斷是否需修改測試文件，在需修改測試文件時，調整所述測試文件中的所述測試參數。

7.如權利要求6所述的電性失效分析的測試裝置，其特征在于，所述的測試文件還包括對應的測試項的運行順序；在需修改測試文件時，還包括調整所述測試項的運行順序。

8.如權利要求6所述的電性失效分析的測試裝置，其特征在于，所述存儲單元還存儲有函數鏈接表；所述的測試項函數以節點形式鏈接存儲于所述函數鏈接表中，每個節點包含了測試項函數的名稱和地址；運行測試文件時，對應的測試項的測試項關聯數據通過函數鏈接表中的測試項函數名稱找到測試項函數地址，并調用相應的測試項函數。

9.如權利要求6所述的電性失效分析的測試裝置，其特征在于，所述存儲單元還存儲有變量鏈接表；所述的測試參數以節點形式鏈接存儲在所述變量鏈接表中，每個節點包含了測試變量的變量名和變量值；所述的測試文件提供一個函數，通過變量鏈接表中測試變量的變量名，獲取相對應的變量值。

10.如權利要求6所述的電性失效分析的測試裝置，其特征在于，所述的測試裝置包括基于C語言的測試平臺。