[發明專利]一種半導體薄膜材料的真空蒸發設備及OLED導電層的制備方法無效
| 申請號： | 201210086981.7 | 申請日： | 2012-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN103361603A | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發明（設計）人： | 楊耀武;蘇曉燕;蘇怡 | 申請（專利權）人： | 常熟卓輝光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215500 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 薄膜 材料 真空 蒸發 設備 oled 導電 制備 方法 | ||
1.一種半導體薄膜材料的真空蒸發設備，包括真空室(1)和真空室(1)內的蒸發器(7)，其特征在于：所述蒸發器(7)下方設置有主動軸(2)和從動軸(3)，所述主動軸(2)帶動從動軸(3)上的半導體薄膜材料基材(8)通過蒸發器(7)下的蒸發區，并對通過蒸發區的半導體薄膜材料基材(8)進行卷取。
2.根據權利要求1所述的半導體薄膜材料的真空蒸發設備，其特征在于：在所述主動軸(2)和從動軸(3)之間設置有冷卻輥(4)，所述冷卻輥(4)兩邊設置有托輥(5)，從動軸(3)上的半導體薄膜材料基材(8)在托輥(5)與冷卻輥(4)之間穿過與主動軸(2)連接。
3.根據權利要求2所述的半導體薄膜材料的真空蒸發設備，其特征在于：在所述冷卻輥(4)的上方設置有隔板(6)，所述隔板(6)將蒸發器(7)的蒸發區隔離。
4.一種利用半導體薄膜材料的真空蒸發設備來制備OLED導電層的方法，其特征在于包括以下步驟：
(1)將OLED基材卷在從動軸上，OLED基材穿過托輥與冷卻輥之間，然后連接在主動軸上；
(2)對真空室進行抽真空，保持真空度30-50Pa；
(3)開啟蒸發器，蒸發器表面溫度升高到960-1050℃，保持5-10分鐘；
(4)啟動電機帶動主動軸，保持OLED基材的勻速行走，行走速度為0.16-1mm/s；
(5)主動軸在帶動OLED基材行走的同時，對OLED基材進行卷取；
(6)在從動軸上的OLED基材蒸發完畢后，關閉蒸發器電源及主動軸電機，經過10-15分鐘后，再開啟真空室，取出已形成有導電層的OLED基材。
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