[發明專利]接合線固定方法無效
| 申請號: | 201210084608.8 | 申請日: | 2012-03-27 |
| 公開(公告)號: | CN103367172A | 公開(公告)日: | 2013-10-23 |
| 發明(設計)人: | 陳逸男;徐文吉;葉紹文;劉獻文 | 申請(專利權)人: | 南亞科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀純 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 接合 固定 方法 | ||
1.一種固定接合線的方法,其特征在于,包含:
將一具有多個接合墊的芯片設在一具有多個接合指的載板上;
進行一打線接合工藝將每一所述接合墊經由接合線接至一所述接合指,且使得各所述接合線呈平行排列;
在每一所述接合墊上滴上流動性膠材,使得所述流動性膠材因毛細現象而沿著兩鄰近的所述接合線往其接合的所述接合指擴散;以及
進行一烘烤工藝使得所述流動性膠材變為黏稠狀態。
2.如權利要求1所述的固定接合線的方法,其特征在于,另包含在所述烘烤工藝后進行一模封工藝。
3.如權利要求1所述的固定接合線的方法,其特征在于,其中所述流動性膠材為環氧樹脂。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





