[發(fā)明專利]一種用于去除太陽能電池花籃印的清洗工藝方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210082917.1
• 申請日: 2012-03-26
• 公開（公告）號: CN102637579A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發(fā)明（設計）人: 孫良欣;張應可;陳壁滔
• 申請（專利權(quán)）人: 北京吉陽技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L31/18
• 代理公司: 北京市商泰律師事務所 11255
• 代理人: 毛燕生

1.一種用于去除太陽能電池花籃印的清洗工藝方法，其特征在于包括以下步驟：

對硅片表面氧化層循環(huán)酸處理；

采用快排方式清洗；

烘干過程保證硅片在花籃中位置不發(fā)生變動；

承載硅片的小花籃在放入大花籃后能與水平面成一定的夾角。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于去除太陽能電池花籃印的清洗工藝方法，其特征在于包括以下步驟：

(1)一號槽(酸槽)：與常規(guī)酸處理工藝不同，此步驟需要增加循環(huán)裝置，達到均勻反應的目的；但循環(huán)不宜過大，否則易碎片；

(2)二號槽(快排槽)：通過設備改進，當機械臂將處于槽內(nèi)的大花籃掛臂上提時，隨即馬上進行自動快排。此項操作目的是通過純水的張力及吸附力，有效地將從一號槽帶出的HF在二號槽得到及時處理；

(3)大花籃通過去磷硅設備下料后，在取小花籃放入烘干箱的過程須注意：小花籃必須以U口在上的方式取出，不得將硅片的擴散面倒向花籃鋸齒上；以小花籃在大花籃放置的方式放入烘干箱，且必須將小花籃U口方向搭在箱內(nèi)鐵架較高處，使小花籃與水平面形成一定的角度，保證硅片在烘干時擴散面不與花籃齒相接觸；

(4)關(guān)于大花籃的改進：設計新的花籃模具務必使承載硅片的小花籃在放入大花籃后能與水平面成一定的夾角。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于去除太陽能電池花籃印的清洗工藝方法，其特征在于步驟(1)中所述的酸處理循環(huán)工藝時間為150-300秒。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于去除太陽能電池花籃印的清洗工藝方法，其特征在于步驟(2)中所述的快排工藝周期為1-2欄/次。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于去除太陽能電池花籃印的清洗工藝方法，其特征在于步驟(3)中所述的烘干過程需嚴格控制取出小花籃的操作動作，務必保證小花籃從槽體中取出后轉(zhuǎn)移到烘箱過程中硅片在小花籃中的位置無變動，并使小花籃與水平面形成一個20°-30°的角度以保證硅片在烘干時擴散面不與花籃齒相接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于去除太陽能電池花籃印的清洗工藝方法，其特征在于步驟(4)中所述的設計新的花籃模具務必使承載硅片的小花籃在放入大花籃后能與水平面成12°-15°的夾角。