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[發(fā)明專利]一種雙功能低輻射鍍膜玻璃及其制作方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210078082.2 申請(qǐng)日: 2012-03-22
公開(公告)號(hào): CN102617047A 公開(公告)日: 2012-08-01
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 姚聯(lián)根;陳海平;楊德兵;屠松柏 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 聯(lián)海(國(guó)際)玻璃技術(shù)有限公司
主分類號(hào): C03C17/36 分類號(hào): C03C17/36;B32B9/04;B32B15/00;B32B17/00
代理公司: 湖州金衛(wèi)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33232 代理人: 趙衛(wèi)康
地址: 313200 浙江省*** 國(guó)省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 功能 輻射 鍍膜 玻璃 及其 制作方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種雙功能低輻射鍍膜玻璃,包括玻璃基片(1),其特征在于:所述玻璃基片(1)上依次設(shè)有氮化硅層(2)、氧化鋅鋁層(3)、金屬鈦層(4)、金屬銀層(5)、氧化鎳鉻層(6)、氧化鈦層(7)及氮化硅保護(hù)層(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙功能低輻射鍍膜玻璃,其特征在于:所述玻璃基片(1)的厚度為6-10mm,所述氮化硅層(2)的厚度37-43nm,所述氧化鋅鋁層(3)的厚度為17-24nm,所述金屬鈦層(4)的厚度為7-10nm,所述金屬銀層(5)的厚度為11.5-12.5nm,所述氧化鎳鉻層(6)的厚度為11-14nm,所述氧化鈦層(7)的厚度為13-17nm,所述氮化硅保護(hù)層(8)的厚度為61-69nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種雙功能低輻射鍍膜玻璃,其特征在于:所述玻璃基片(1)的厚度為6mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種雙功能低輻射鍍膜玻璃,其特征在于:所述氮化硅層(2)的厚度39nm,所述氧化鋅鋁層(3)的厚度為19nm,所述金屬鈦層(4)的厚度為8nm,所述金屬銀層(5)的厚度為12nm,所述氧化鎳鉻層(6)的厚度為13nm,所述氧化鈦層(7)的厚度為15nm,所述氮化硅保護(hù)層(8)的厚度為64nm。

5.一種雙功能低輻射鍍膜玻璃的制作方法,其特征在于包括以下步驟:?

a):將6-10mm厚度的玻璃基片按照預(yù)定的尺寸切割成塊并清洗干凈,然后將離線高真空磁控濺射設(shè)備的真空度設(shè)置在10-3Pa,線速度設(shè)置為1.7-2.1m/min;

b):將切割后的玻璃基片輸送進(jìn)鍍膜室中,設(shè)置第一離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為54-56KW,在玻璃基片上濺射第一層37-43nm的氮化硅層(2);

c):設(shè)置第二離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為16-20KW,在玻璃基片上濺射第二層17-24nm的氧化鋅鋁層(3);

d):設(shè)置第三離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為3.5-4.0KW,在玻璃基片上濺射第三層7-10nm金屬鈦層(4);

e):設(shè)置第四離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為10-12.5KW,在玻璃基片上濺射第四層11.5-12.5nm的金屬銀層(5);

f):設(shè)置第五離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為5.6-6.2KW,在玻璃基片上濺射第五層11-14nm的氧化鎳鉻層(6);

g):設(shè)置第六離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為70-74KW,在玻璃基片上濺射第六層13-17nm的金屬鈦層(7);

h):設(shè)置第七離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為80-84KW,在玻璃基片上濺射第七層61-69nm的氮化硅保護(hù)層(8)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種雙功能低輻射鍍膜玻璃的制作方法,其特征在于:

所述步驟a)中,所述玻璃基片的厚度為6mm;

所述步驟b)中,設(shè)置第一離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為55KW,在玻璃基片上濺射第一層39nm的氮化硅層(2);

所述步驟c)中,設(shè)置第二離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為17.5KW,在玻璃基片上濺射第二層19nm的氧化鋅鋁層(3);

所述步驟d)中,設(shè)置第三離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為3.8KW,在玻璃基片上濺射第三層8nm金屬鈦層(4);

所述步驟e)中,將切割后的玻璃基片輸送進(jìn)鍍膜室中,設(shè)置第四離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為11KW,在玻璃基片上濺射第四層12nm的金屬銀層(5);

所述步驟f)中,設(shè)置第五離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為5.8KW,在玻璃基片上濺射第五層13nm的氧化鎳鉻層(6);

所述步驟g)中,設(shè)置第六離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為72KW,在玻璃基片上濺射第六層15nm的金屬鈦層(7);

所述步驟h)中,設(shè)置第七離線高真空磁控濺射設(shè)備的功率為81W,在玻璃基片上濺射第七層64nm的氮化硅保護(hù)層(8)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種雙功能低輻射鍍膜玻璃的制作方法,其特征在于:所述步驟a)中,線速度設(shè)置為2.0-2.1m/min。?

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種雙功能低輻射鍍膜玻璃的制作方法,其特征在于:所述步驟a)中,線速度設(shè)置為2.1m/min。

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