[發(fā)明專利]基板檢測裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210075574.6
• 申請日: 2012-03-21
• 公開（公告）號: CN102621149A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭文達(dá)
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G02F1/13
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 胡海國

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶面板技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板檢測裝置及方法。

背景技術(shù)

液晶顯示器(Liquid?Crystal?Display，LCD)是利用液晶材料的特性來顯示圖像的一種平板顯示裝置(Flat?Panel?Display，F(xiàn)PD)，其相較于其他顯示裝置而言具輕薄、低驅(qū)動電壓及低功耗等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為整個消費(fèi)市場上的主流產(chǎn)品。

液晶面板是液晶顯示器最主要的組成元件，液晶面板的制作工藝主要為將薄膜式晶體管陣列基板及彩色濾光片基板貼合，并將液晶層設(shè)置在兩基板之間。該薄膜式晶體管陣列基板及彩色濾光片基板均為在基板上通過沉積薄膜層、曝光、蝕刻等制程而形成。基板在進(jìn)行上述制程時，若基板上粘附有雜質(zhì)，會對上述制程產(chǎn)生不良影響甚至是造成基板報廢，嚴(yán)重影響液晶面板的良率，造成基板的浪費(fèi)。而玻璃碎屑則是對液晶面板的良率影響最大的雜質(zhì)，因此，急切需要一種能快速檢測基板上是否存在玻璃碎屑的方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的是提供一種基板檢測裝置，旨在快速地檢測出基板上是否存在玻璃屑。

本發(fā)明提供了一種基板檢測裝置，包括光源、光檢測裝置，所述光源、光檢測裝置均設(shè)置在基板的同一側(cè)，且所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向呈夾角設(shè)置。

優(yōu)選地，所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。

優(yōu)選地，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為70-110°。

優(yōu)選地，光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90°。

優(yōu)選地，還包括控制裝置，所述控制裝置與光檢測裝置連接，用于控制光檢測裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動。

本發(fā)明還提供了一種基板檢測方法，包括以下步驟：

將基板置于檢測臺上；

將光源放置及光檢測裝置放置在基板的同一側(cè)，且光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測裝置接收光線的方向呈夾角設(shè)置，并開啟光源及光檢測裝置；

若光檢測裝置檢測到光信號，則返回存在玻璃屑的結(jié)果信息。

優(yōu)選地，所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。

優(yōu)選地，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為70-110°。

優(yōu)選地，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90°。

優(yōu)選地，還包括：

在開啟光源及光檢測裝置后，控制光檢測裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動。

本發(fā)明通過設(shè)置光源及光檢測裝置的恰當(dāng)位置，使光檢測裝置可以僅接收到光源經(jīng)過玻璃屑發(fā)生折射的光線，從而可以快速地檢測出基板上是否存在玻璃屑。

附圖說明

圖1是本發(fā)明基板檢測裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明基板檢測裝置中光源照射有玻璃屑的基板后的光線的路徑示意圖；

圖3是本發(fā)明基板檢測方法一實(shí)施例的流程示意圖；

圖4是本發(fā)明基板檢測方法另一實(shí)施例的流程示意圖。

本發(fā)明目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說明。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合說明書附圖及具體實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

圖1是本發(fā)明提出的一種基板檢測裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

參照圖1，該基板檢測裝置包括光源1、光檢測裝置2，其用于檢測基板3，所述光源1、光檢測裝置2均設(shè)置在基板3的同一側(cè)，且所述光源1發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板3呈夾角設(shè)置，所述光檢測裝置2接收光線的方向與光源1發(fā)出的光線的行進(jìn)方向呈夾角設(shè)置。

上述基板檢測裝置，在光源1發(fā)出的光線，遇到其他雜質(zhì)，可能會反射或被吸收；而遇到玻璃屑時則會發(fā)生折射，如圖2所示。因此，將光檢測裝置2設(shè)置在適當(dāng)?shù)奈恢茫词蛊鋬H能接收到經(jīng)過玻璃屑發(fā)生折射后的光線，而不能接收經(jīng)基板3或其他雜質(zhì)發(fā)生反射的光線，從而可以快速檢測出基板3上是否有玻璃屑。

上述光源1發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板3的夾角為0-90°，光檢測裝置2接受光線的方向與基板3的夾角為0-90°。上述光源1發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測裝置2接收光線的方向形成的夾角為70-110°。其中，該夾角優(yōu)選為90°。