[發(fā)明專利]基板檢測(cè)裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210075574.6
• 申請(qǐng)日: 2012-03-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102621149A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭文達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G02F1/13
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 胡海國(guó)

1.一種基板檢測(cè)裝置，其特征在于，包括光源、光檢測(cè)裝置，所述光源、光檢測(cè)裝置均設(shè)置在基板的同一側(cè)，且所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，所述光檢測(cè)裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向呈夾角設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光檢測(cè)裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為70-110°。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光檢測(cè)裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基板檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括控制裝置，所述控制裝置與光檢測(cè)裝置連接，用于控制光檢測(cè)裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。

6.一種基板檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟：

將基板置于檢測(cè)臺(tái)上；

將光源放置及光檢測(cè)裝置放置在基板的同一側(cè)，且光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測(cè)裝置接收光線的方向呈夾角設(shè)置，并開(kāi)啟光源及光檢測(cè)裝置；

若光檢測(cè)裝置檢測(cè)到光信號(hào)，則返回存在玻璃屑的結(jié)果信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述光源發(fā)出的光線行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述光檢測(cè)裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為70-110°。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，所述光檢測(cè)裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90°。

10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項(xiàng)所述的基板檢測(cè)方法，其特征在于，還包括：

在開(kāi)啟光源及光檢測(cè)裝置后，控制光檢測(cè)裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。