[發明專利]一種HDI板激光鉆孔偏移檢查方法無效
| 申請號: | 201210073889.7 | 申請日: | 2012-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN102607368A | 公開(公告)日: | 2012-07-25 |
| 發明(設計)人: | 陳雨蘭;王曉萍 | 申請(專利權)人: | 昆山鼎鑫電子有限公司 |
| 主分類號: | G01B5/02 | 分類號: | G01B5/02 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 孫仿衛;趙艷 |
| 地址: | 215316 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 hdi 激光 鉆孔 偏移 檢查 方法 | ||
1.?一種HDI板激光鉆孔偏移檢查方法,該方法用于檢查HDI板上盲孔在激光開窗層與內層圖形的偏移量,其特征在于:包括以下步驟:
(1)、在激光開窗層上標記激光開窗層對位圖形,所述的激光開窗層對位圖形標記有多個,多個所述的激光開窗層對位圖形的邊長或直徑依次增大;
(2)、在內層上標記內層對位圖形:所述的內層對位圖形標記有多個,多個所述的內層對位圖形的邊長或直徑相等,并且所述的內層對位圖形與邊長或直徑最小的激光開窗層對位圖形相同;
(3)、當目視HDI板上盲孔偏移量時,可從所述的激光開窗層對位圖形與內層對位圖形兩者的偏移量得知:
當所述的內層對位圖形位于所述的激光開窗層對位圖形正中心時,則偏移量為0;
當所述的內層對位圖形與激光開窗層對位圖形相交時,則偏移量超出所述的內層對位圖形與激光開窗層對位圖形標記的設定值;
當所述的內層對位圖形與激光開窗層對位圖形相切時,則偏移量等于所述的內層對位圖形與激光開窗層對位圖形的邊長或直徑之差加制程蝕刻量之總和。
2.?根據權利要求1所述的一種HDI板激光鉆孔偏移檢查方法,其特征在于:在所述的激光開窗層對位圖形、內層對位圖形的首個圖形位置處標記基準點,所述的激光開窗層對位圖形以遠離所述的基準點的方向,其邊長或直徑依次增大。
3.?根據權利要求1所述的一種HDI板激光鉆孔偏移檢查方法,其特征在于:所述的激光開窗層對位圖形、內層對位圖形為正方形。
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