[發(fā)明專(zhuān)利]TFT-LCD玻璃基板清洗方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210072893.1 | 申請(qǐng)日： | 2012-03-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102601074A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-07-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 寇浩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 深圳市華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B08B3/12 | 分類(lèi)號(hào)： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | tft lcd 玻璃 清洗 方法 | ||
1.一種TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1、提供超聲波清洗機(jī)、玻璃基板輸入傳送機(jī)、及玻璃基板輸出傳送機(jī)，該超聲波清洗機(jī)包括清洗槽、容納于清洗槽內(nèi)的清洗液、及設(shè)于清洗槽的數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率不同；
步驟2、玻璃基板輸入傳送機(jī)傳送待清洗的玻璃基板進(jìn)入清洗槽；
步驟3、待清洗的玻璃基板浸沒(méi)在清洗槽的清洗液內(nèi)；
步驟4、該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液對(duì)玻璃基板進(jìn)行超聲波清洗；
步驟5、玻璃基板輸出傳送機(jī)將清洗過(guò)的玻璃基板從清洗槽運(yùn)送出來(lái)。
2.如權(quán)利要求1所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁分別設(shè)有該數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器，清洗槽的該相對(duì)兩側(cè)壁與傳送玻璃基板的方向平行。
3.如權(quán)利要求2所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該數(shù)個(gè)第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個(gè)第二超聲波頻率發(fā)生器分別排成列，且依次間隔設(shè)置在清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁。
4.如權(quán)利要求3所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為40KHz與120KHz，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為25-50cm。
5.如權(quán)利要求3所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為68KHz與170KHz，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為15-40cm。
6.如權(quán)利要求2所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，所述步驟3中，玻璃基板對(duì)應(yīng)于所述清洗槽的相對(duì)兩側(cè)壁傾斜置于清洗槽內(nèi)，且該玻璃基板與水平面之間的夾角為30-45°。
7.如權(quán)利要求1所述的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其特征在于，所述清洗液為去離子水。
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