[發(fā)明專利]TFT-LCD玻璃基板清洗方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210072893.1
• 申請日: 2012-03-19
• 公開（公告）號: CN102601074A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 寇浩
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12
• 代理公司: 深圳市德力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種TFT-LCD玻璃基板超聲波多頻清洗方法。

背景技術(shù)

在TFT-LCD的制造工序中，當(dāng)玻璃基板表面存在的顆粒粒徑為線寬1/3左右時，短線、短路等缺陷的出現(xiàn)頻率倍增，為了克服這一缺陷，在對玻璃基板的表面供給給定的處理液進(jìn)行處理后，對該玻璃基板進(jìn)行洗凈工序。

現(xiàn)有的TFT-LCD行業(yè)采用洗凈玻璃基板的流程為：先等離子體清洗(Plasma)、或遠(yuǎn)紫外線清洗(EUV)、或深紫外線清洗(DUV)，然后刷洗劑沖淋(brush+shower)及壓力射流清洗(Jet)，最后再進(jìn)行二流體清洗，其分別對應(yīng)的清除物質(zhì)為有機(jī)殘留物與顆粒，該顆粒的尺寸分別為10um以上、1-10um、1-5um。

而隨著面板大尺寸化、高開口率、及低線寬等技術(shù)發(fā)展要求，采用現(xiàn)有的多機(jī)臺來清除不同粒徑顆粒的技術(shù)存在以下的缺陷：

1、采用數(shù)臺機(jī)臺，分別除去不同粒徑的顆粒，造成了機(jī)臺較高的成本投入，且基板在各種機(jī)臺間的轉(zhuǎn)換造成工時的浪費(fèi)，并易在基板轉(zhuǎn)換過程中引入新的顆粒；

2、機(jī)臺清洗原理主要為物理沖擊的作用機(jī)制，對于粒徑較小及頑固附著的顆粒清洗效果并不明顯，且對清洗采用的蒸餾水及添加溶劑消耗較大，增加了生產(chǎn)成本。

為了提高洗凈效果，超聲波清洗技術(shù)逐漸出現(xiàn)在TFT-LCD玻璃基板流程中，超聲波清洗技術(shù)是一種多應(yīng)用于精密機(jī)械及特種精細(xì)機(jī)構(gòu)領(lǐng)域的清洗方法，超聲波清洗是利用了超聲波的空蝕作用，空蝕定義為溶液中的微型氣泡的內(nèi)爆裂，它是由超聲場內(nèi)的壓力變化導(dǎo)致的。壓力差是通過一個液體區(qū)域中正負(fù)壓力的交替變換產(chǎn)生的，當(dāng)液體處于負(fù)壓力時，它的沸點會降低，并且會產(chǎn)生許多小蒸汽泡。當(dāng)壓力變?yōu)檎禃r，小氣泡會發(fā)生猛烈的內(nèi)爆，由換能器釋放的高頻電能產(chǎn)生了機(jī)械波，這種空蝕現(xiàn)象提供了機(jī)械攪拌和洗滌作用。超聲波清洗技術(shù)的應(yīng)用，在很大程度上提高了TFT-LCD玻璃基板的洗凈效果。但是，為了清除不同粒徑的顆粒，需使用不同頻率的機(jī)臺，造成了機(jī)臺較高的成本投入，且基板在各種機(jī)臺間的轉(zhuǎn)換造成工時的浪費(fèi)，并易在基板轉(zhuǎn)換過程中引入新的顆粒。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其成本低，清洗范圍廣，且清洗能力強(qiáng)。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其包括如下步驟：

步驟1、提供超聲波清洗機(jī)、玻璃基板輸入傳送機(jī)、及玻璃基板輸出傳送機(jī)，該超聲波清洗機(jī)包括清洗槽、容納于清洗槽內(nèi)的清洗液、及設(shè)于清洗槽的數(shù)個第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個第二超聲波頻率發(fā)生器，該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率不同；

步驟2、玻璃基板輸入傳送機(jī)傳送待清洗的玻璃基板進(jìn)入清洗槽；

步驟3、待清洗的玻璃基板浸沒在清洗槽的清洗液內(nèi)；

步驟4、該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器產(chǎn)生的不同頻率超聲波施加給清洗液對玻璃基板進(jìn)行超聲波清洗；

步驟5、玻璃基板輸出傳送機(jī)將清洗過的玻璃基板從清洗槽運(yùn)送出來。

該清洗槽的相對兩側(cè)壁分別設(shè)有該數(shù)個第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個第二超聲波頻率發(fā)生器，清洗槽的該相對兩側(cè)壁與傳送玻璃基板的方向平行。

該數(shù)個第一超聲波頻率發(fā)生器與數(shù)個第二超聲波頻率發(fā)生器分別排成列，且依次間隔設(shè)置在清洗槽的相對兩側(cè)壁。

該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為40KHz與120KHz，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為25-50cm。

該第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器的頻率分別為68KHz與170KHz，相鄰的第一超聲波頻率發(fā)生器與第二超聲波頻率發(fā)生器之間的間距為15-40cm。

所述步驟3中，玻璃基板對應(yīng)于所述清洗槽的相對兩側(cè)壁傾斜置于清洗槽內(nèi)，且該玻璃基板與水平面之間的夾角為30-45°。

所述清洗液為去離子水。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明所提供的TFT-LCD玻璃基板清洗方法，其在同一清洗槽設(shè)置不同頻率的超聲波頻率發(fā)生器，每個頻率波段的超聲波頻率發(fā)生器對應(yīng)一定范圍粒徑的顆粒進(jìn)行清洗，不需更換清洗槽，縮短清洗制程時間，節(jié)約了成本，且TFT-LCD玻璃基板相對于該些超聲波頻率發(fā)生器傾斜設(shè)置，更有效的清除附著于TFT-LCD玻璃基板的顆粒。

為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。

附圖說明