[發(fā)明專利]監(jiān)測溶液加工能力的方法及裝置、刻蝕系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210072211.7
• 申請日: 2012-03-16
• 公開（公告）號: CN102650588A
• 公開（公告）日: 2012-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王燦;郭煒
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;陳源

1.一種監(jiān)測溶液加工能力的方法，其用于在溶液腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線中監(jiān)測所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其特征在于，包括以下步驟：

在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，用光線照射所述被加工工件；

獲得設(shè)定位置處透過所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度；

根據(jù)透過所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度評估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測溶液加工能力的方法，其特征在于，評估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的方式包括：

所述透射光的強(qiáng)度包括透射光的下限監(jiān)測強(qiáng)度，用于監(jiān)測溶液加工能力的下限；

比較所述透射光的下限監(jiān)測強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測強(qiáng)度小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，則表明所述溶液的加工能力偏低；或者，

根據(jù)所述透射光的下限監(jiān)測強(qiáng)度獲得透射光的下限監(jiān)測透過率，比較所述透射光的下限監(jiān)測透過率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過率的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測透過率小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過率的下限，則表明所述溶液的加工能力偏低。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的監(jiān)測溶液加工能力的方法，其特征在于，評估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的方式還包括為：

所述透射光的強(qiáng)度還包括透射光的上限監(jiān)測強(qiáng)度，用于監(jiān)測溶液加工能力的上限；

比較所述透射光的上限監(jiān)測強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，若所述透射光的上限監(jiān)測強(qiáng)度大于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，則表明所述溶液的加工能力偏高；

或者，根據(jù)所述透射光的上限監(jiān)測強(qiáng)度獲得光的上限監(jiān)測透過率，比較所述透射光的上限監(jiān)測透過率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過率的上限，若所述透射光的上限監(jiān)測透過率大于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過率的上限，則表明所述溶液的加工能力偏高。

4.一種監(jiān)測溶液加工能力的監(jiān)測裝置，其用于在溶液腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線上監(jiān)測所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其特征在于，包括：

光學(xué)監(jiān)控單元，其用于在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，獲得透過所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度，并將獲得的透過所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號發(fā)送至分析單元；

分析單元，其根據(jù)接收到的所述光學(xué)監(jiān)控單元獲得的透過所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號計算所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的監(jiān)測溶液加工能力的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述光學(xué)監(jiān)控單元包括光發(fā)射裝置和光接受裝置，所述光發(fā)射裝置與所述光接受裝置相對地設(shè)置在所述被加工工件的兩側(cè)，其中，

所述光發(fā)射裝置用于朝向所述被加工工件表面發(fā)出光；

所述光接受裝置用于采集由所述光發(fā)射裝置發(fā)出的透過所述被加工工件的透射光，并將其獲得的透過所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號發(fā)送至所述分析單元。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的監(jiān)測溶液加工能力的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述分析單元包括：

信號接收子單元，其用于接收來自所述光學(xué)監(jiān)控單元獲得的透過所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號；

計算子單元，其用于根據(jù)來自所述信號接收子單元的透射光的強(qiáng)度信號評估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求；

信號發(fā)射子單元，其用于根據(jù)所述計算子單元計算的結(jié)果發(fā)出相應(yīng)的溶液加工能力偏低或偏高的信號。

7.一種刻蝕系統(tǒng)，包括刻蝕液罐、監(jiān)測裝置以及被加工工件的傳輸系統(tǒng)，所述刻蝕液罐用于儲存刻蝕液，監(jiān)測裝置用于監(jiān)測所述刻蝕液的加工能力是否滿足工藝要求，所述傳輸系統(tǒng)用于在刻蝕過程中傳輸被加工工件，其特征在于，所述監(jiān)測裝置采用權(quán)利要求5-6所述的監(jiān)測溶液加工能力的監(jiān)測裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，還包括供給裝置，所述供給裝置用于根據(jù)所述監(jiān)測裝置的監(jiān)測結(jié)果更換或添加刻蝕液。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，包括兩個所述監(jiān)測裝置，所述兩個以上個監(jiān)測裝置設(shè)置在被加工工件的流水生產(chǎn)線上的不同位置，分別用于監(jiān)測溶液加工能力的下限和上限。

10.根據(jù)權(quán)利要求8-9任意一項所述的刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，所述的刻蝕系統(tǒng)用于顯影工藝。