[發明專利]供應處理液的單元以及使用該單元處理基材的設備和方法

有效

• 申請號: 201210069435.2
• 申請日: 2009-11-25
• 公開（公告）號: CN102636960A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 樸相旭;高在升
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/30;H01L21/67
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 梁興龍;武玉琴

本申請是中國專利申請第200910178381.1號的分案申請，第200910178381.1號的專利申請其申請日是2009年11月25日，發明名稱是“供應處理液的單元以及使用該單元處理基材的設備和方法”。

相關申請的交叉引用

本申請要求享有2008年11月28日提交的韓國專利申請No.10-2008-0119904的優先權，在此引入該韓國專利申請的全部內容作為參考。

技術領域

本發明涉及一種半導體制作設備和方法，更具體而言，涉及向基材供應處理液的單元以及使用該單元處理基材的設備和方法。

背景技術

半導體器件的制作通常如下：在基材上堆疊薄膜形式的多種不同材料并圖案化。為此，需要許多階段的不同工藝，如沉積、光刻、蝕刻和清潔工藝。

在這些工藝中，光刻工藝包括在基材上沉積感光液的沉積工藝和在基材上供應顯影液的顯影工藝，蝕刻工藝包括在基材上供應蝕刻液和從基材上除去被顯影的膜的工藝，清潔過程包括在基材上供應清潔液和從基材表面除去殘留雜質的工藝。

沉積、顯影、蝕刻、清潔工藝采用旋轉式方法進行，其中基材放置在旋轉卡盤上，并且在基材旋轉的同時將處理液(感光液、顯影液、蝕刻液或清潔液)供應到基材表面上。

發明內容

本發明提供一種供應處理液的單元，當噴嘴臂在等待位置等待的同時、在處理位置執行處理的同時以及在等待位置和處理位置之間移動的過程中，該單元可以將從噴嘴供應的處理液維持在預定溫度，還提供使用該供應處理液的單元的基材處理設備和方法。

然而，本發明可以體現為多種不同形式，并且不應當認為本發明受限于在此提出的實施例。相反，提供這些實施例是為了使本發明的公開內容清楚和完整，并向本領域技術人員全面地表達本發明的范圍。

本發明的實施例提供基材處理設備，其包括：支撐基材的基材支撐單元；具有噴嘴和處理液管道的噴嘴臂，所述噴嘴安裝在其上用于將處理液排放到置于所述基材支撐單元上的基材上，所述處理液管道內置在其中用于將處理液供應到所述噴嘴；和等待口，其提供所述噴嘴臂等待執行處理的位置，并通過利用所述噴嘴臂的熱傳遞調節內置在所述噴嘴臂中的處理液管道內的處理液溫度。

在一些實施例中，所述等待口可以包括：其上放置所述噴嘴臂的臂支撐元件；和設置在所述臂支撐元件上的第一溫度調節元件，用于調節所述臂支撐元件的溫度。

在其他實施例中，所述第一溫度調節元件可以包括加熱盤管、溫度調節液管道、熱電元件和其組合中的一種。

在其他實施例中，所述臂支撐元件可以呈長度方向相應于所述噴嘴臂的塊狀并沿著所述噴嘴臂的長度與所述噴嘴臂的下端表面接觸，以通過熱傳導將熱量傳遞到所述噴嘴臂，和所述第一溫度調節元件可以內置在所述臂支撐元件中。

在其他實施例中，所述基材處理設備還可以包括噴嘴移動單元，用于在所述等待口的等待位置與所述基材上部的處理位置之間移動所述噴嘴臂，并用于通過傳遞移動的所述噴嘴臂的熱量調節內置在所述噴嘴臂中的處理液管道內的處理液溫度。

在其他實施例中，多個等待口可以沿著所述基材支撐單元的側面并排設置，多個其上安裝有噴嘴的噴嘴臂可以分別設置在每個等待口處，和所述噴嘴移動單元可以從多個噴嘴臂中選擇一個噴嘴臂并將所選擇的噴嘴臂從所述等待口的等待位置移動到所述基材上部的處理位置。

在其他實施例中，所述噴嘴移動單元可以包括：保持所述噴嘴臂的保持元件；設置在所述保持元件上的第二溫度調節元件，用于調節所述保持元件的溫度；和移動元件，用于在所述等待位置和所述處理位置之間移動所述保持元件。

在其他實施例中，所述保持元件可以包括：第一保持架和第二保持架，用于通過沿著垂直于所述噴嘴臂長度方向的方向彼此遠離或接近地移動來保持所述噴嘴臂；和第一驅動器，用于驅動第一保持架和第二保持架。

在其他實施例中，第一保持架和第二保持架可以分別包括與所述噴嘴臂的側面垂直接觸設置的側壁和從所述側壁水平延伸接觸所述噴嘴臂底面的底壁，和所述第二溫度調節元件可以收容在第一保持架和第二保持架的側壁內。

在其他實施例中，所述第二溫度調節元件可以是加熱盤管、溫度調節液管道、熱電元件和其組合中的一種。

在其他實施例中，所述移動元件可以包括：支撐所述保持元件的水平支撐件；移動桿，其與所述水平支撐件垂直連接并且其上設置有用于垂直移動所述水平支撐件的第二驅動器；和第三驅動器，用于在所述等待位置和所述處理位置之間移動所述移動桿。