[發明專利]無塵室微粒自動測量小車、自動測量系統及其測量方法

有效

• 申請號: 201210068824.3
• 申請日: 2012-03-15
• 公開（公告）號: CN102608003A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 齊明虎;吳俊豪;林昆賢;汪永強;朱二慶;李賢德
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01N15/00
• 分類號: G01N15/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦;丁建春

技術領域

本發明涉及測量領域，特別是涉及一種無塵室微粒自動測量小車、自動測量系統及其測量方法。

背景技術

目前的生產環境要求越來越高，特別是無塵生產車間，需要很干凈的環境，通常測量無塵室的微粒作為對環境的評估條件之一。現有技術中無塵室的微粒測量采用人工方式，如圖1所示，圖1是現有技術中無塵室微粒測量的測量場景圖，在無塵室102中有多臺設備104，在每一臺設備104的附近都設置了測量點103，現有技術中，人工控制測量儀101對測量點103進行測量，測量得到的數據即為該無塵室102的微粒數據值，由于測試過程是人工操作的，所以，測試的結果直接受測試者影響，因此，會出現測量不定時、測量數據誤差大或者測量得到的數據得不到及時處理等問題。因此人工測量已遠遠不能滿足現在的測量要求。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種無塵室微粒自動測量小車、自動測量系統及其測量方法，能夠自動測量指定區域的無塵室微粒，減少人力資源，提高測量結果的準確性。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是：提供一種無塵室微粒自動測量小車，該小車包括：自動導引裝置，導引小車沿一既定路徑行駛，該自動導引裝置包括一讀取頭，該讀取頭識別預先設置的感應路徑以及識別預先設置的多個測量點，該小車根據感應路徑進行行駛；測量儀，該測量儀測量測量點的微粒；數據處理裝置，測量儀將測量所得的微粒數據輸送至該數據處理裝置，該數據處理裝置依據預設規則進行數據輸出。

其中，讀取頭為電磁感應識別器、激光識別器、磁鐵-陀螺識別器或視覺引導識別器。

其中，小車進一步包括一暫停裝置，該暫停裝置在讀取頭識別到測量點或者在該小車行駛到其預先存儲的測量點時，進行暫停控制，測量儀進一步測量測量點的微粒。

其中，數據處理裝置預先存儲測量點數據，該測量點數據包括如下數據之一或多個：測量完成后主動進行下一次自動測量的時間間隔、發現異常數據時主動進行下一次自動測量的時間間隔、每間隔測量點之間的位置關系、合理的微粒數值區間。

其中，該小車進一步包括一指令輸入裝置，該指令輸入裝置接收開始自動測量的命令而啟動小車進行自動測量作業。

其中，數據處理裝置預先存儲數據異常作業指令，該指令為，當測量數據正常時，依照自動測量的時間間隔而啟動下一次自動測量作業，當測量數據異常時，則依據異常數據時主動進行下一次自動測量的時間間隔啟動測量，或者依照輸入裝置的輸入指令啟動自動測量。

其中，該小車進一步包括一蓄電池和自動充電裝置，為小車提供運輸動力。

為解決上述技術問題，本發明采用的另一個技術方案是：提供一種無塵室微粒自動測量系統，該系統包括上述的無塵室微粒自動測量小車以及與讀取頭對應設置于被測量空間地面的感應條。

其中，感應條的預設測量點位置的感應力大于周邊位置。

為解決上述技術問題，本發明采用的另一個技術方案是：提供一種無塵室微粒的自動測量方法，該方法包括以下步驟：

行駛步驟：通過電磁感應、激光識別、磁鐵-陀螺識別或視覺引導識別感應識別預先設置的感應路徑和測量點，并根據感應路徑進行行駛；

測量步驟：當識別到測量點時，行駛暫停并測量測量點的微粒，或者當行駛到預先存儲的測量點時，行駛暫停并測量測量點的微粒；

處理步驟：接收并處理多個微粒數據。

本發明的有益效果是：本發明通過提供包括自動導引裝置、測量儀以及數據處理裝置的自動測量小車，可以根據指定路徑進行行駛，并自動測量測量點的微粒以及對測量得到的微粒數據進行輸出處理。通過上述方式，本發明能夠自動測量指定區域的無塵室微粒，減少人力資源，提高測量結果的準確性。

附圖說明

圖1是現有技術中無塵室微粒測量的測量場景圖；

圖2是本發明實施例的無塵室微粒自動測量小車的結構模塊示意圖；

圖3是本發明實施例的無塵室微粒測量方法的流程圖；

圖4是根據圖3所示的無塵室微粒測量方法的測量場景圖。

具體實施方式

請參考圖2，圖2是本發明實施例的無塵室微粒自動測量小車的結構模塊示意圖，本實施例的無塵室微粒自動測量小車200包括：自動引導裝置201、測量儀203、數據處理裝置204。且可進一步包括暫停裝置205以及指令輸入裝置206。其中，自動引導裝置201包括一讀取頭202。