[發明專利]無塵室微粒自動測量小車、自動測量系統及其測量方法

有效

• 申請號: 201210068824.3
• 申請日: 2012-03-15
• 公開（公告）號: CN102608003A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 齊明虎;吳俊豪;林昆賢;汪永強;朱二慶;李賢德
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01N15/00
• 分類號: G01N15/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦;丁建春

1.一種無塵室微粒自動測量小車，其特征在于包括：

自動導引裝置，導引所述小車沿一既定路徑行駛，所述自動導引裝置包括一讀取頭，所述讀取頭識別預先設置的感應路徑以及識別預先設置的多個測量點，所述小車根據所述感應路徑進行行駛；

測量儀，所述測量儀測量所述測量點的微粒；

數據處理裝置，所述測量儀將測量所得的微粒數據輸送至所述數據處理裝置，所述數據處理裝置依據預設規則進行數據輸出。

2.根據權利要求1的所述無塵室微粒自動測量小車，其特征在于，所述讀取頭為電磁感應識別器、激光識別器、磁鐵-陀螺識別器或視覺引導識別器。

3.根據權利要求1的所述無塵室微粒自動測量小車，其特征在于，進一步包括一暫停裝置，所述暫停裝置在所述讀取頭識別到所述測量點或者在所述小車行駛到其預先存儲的所述測量點時，進行暫停控制，所述測量儀進一步測量所述測量點的微粒。

4.根據權利要求1的所述無塵室微粒自動測量小車，其特征在于，所述數據處理裝置預先存儲測量點數據，所述測量點數據包括如下數據之一或多個：測量完成后主動進行下一次自動測量的時間間隔、發現異常數據時主動進行下一次自動測量的時間間隔、每間隔測量點之間的位置關系、合理的微粒數值區間。

5.根據權利要求4的所述無塵室微粒自動測量小車，其特征在于進一步包括一指令輸入裝置，所述指令輸入裝置接收開始自動測量的命令而啟動所述小車進行自動測量作業。

6.根據權利要求5的所述無塵室微粒自動測量小車，其特征在于，所述數據處理裝置預先存儲數據異常作業指令，所述指令為，當測量數據正常時，依照所述自動測量的時間間隔而啟動下一次自動測量作業，當測量數據異常時，則依據所述異常數據時主動進行下一次自動測量的時間間隔啟動測量，或者依照所述輸入裝置的輸入指令啟動自動測量。

7.根據權利要求5的所述無塵室微粒自動測量小車，其特征在于進一步包括一蓄電池和自動充電裝置，為小車提供運輸動力。

8.一種無塵室微粒自動測量系統，其特征在于包括如權利要求1-7所述的無塵室微粒自動測量小車以及與所述讀取頭對應設置于被測量空間地面的感應條。

9.根據權利要求8的所述的無塵室微粒自動測量系統，其特征在于所述感應條的預設測量點位置的感應力大于周邊位置。

10.一種無塵室微粒的自動測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

行駛步驟：通過電磁感應、激光識別、磁鐵-陀螺識別或視覺引導識別感應識別預先設置的感應路徑和測量點，并根據所述感應路徑進行行駛；

測量步驟：當識別到所述測量點時，行駛暫停并測量所述測量點的微粒，或者當行駛到預先存儲的所述測量點時，行駛暫停并測量所述測量點的微粒；

處理步驟：接收并處理多個微粒數據。