[發(fā)明專利]板狀體的研磨裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210068484.4
• 申請日: 2012-03-15
• 公開（公告）號: CN102672599A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設計）人: 女部田裕一;齋藤準一;中村英生;木村宏
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B24B37/30
• 分類號: B24B37/30;B24B37/22
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

技術領域

本發(fā)明涉及板狀體的研磨裝置。

背景技術

板狀體，特別是適用于液晶顯示器用的玻璃板因其表面的微小的凹凸、波紋成為導致圖像變形的原因，所以用研磨裝置去除所述微小的凹凸、波紋。作為這種研磨裝置，一般公知有如下研磨裝置，將被托架保持的玻璃板壓靠到設置于研磨平臺的研磨墊上，并且使研磨平臺及托架相對旋轉(zhuǎn)而對玻璃板進行研磨。

專利文獻1開示的研磨裝置在膜體上安裝有吸附保持玻璃板的吸附片，該膜體鋪設于托架上。另外，向上述膜體和上述托架之間供給加壓流體，被上述吸附片保持的玻璃板在上述加壓流體的壓力的作用下被按壓于研磨墊。由此，根據(jù)專利文獻1的研磨裝置，由上述加壓流體對玻璃板的各部分施加的壓力為均勻的壓力，因此具有能夠一邊平坦地研磨玻璃板一邊去除玻璃板的表面的微小凹凸這種優(yōu)點。

上述吸附片是發(fā)泡聚氨酯制，經(jīng)由聚碳酸酯等中間片與上述膜體粘接，該中間片的拉伸方向的剛性設定得比上述吸附片的拉伸方向的剛性高。由此，在專利文獻1的研磨裝置中，吸附片不會從中間片剝離，所以具有可以防止吸附片剝離卷起這種優(yōu)點。另外，膜體構成為由樹脂層和纖維層構成的雙層構造。

專利文獻1：WO2007/020859號公報

但是，專利文獻1的膜體具有直接接受加壓流體并向玻璃板傳遞研磨壓力的功能和在玻璃板的研磨中承受在相對旋轉(zhuǎn)的玻璃板和研磨墊之間產(chǎn)生的研磨阻力的功能。即，膜體受到因加壓流體而膨脹的方向的力及因研磨阻力而反復向拉伸方向伸縮的力。因此，膜體的壽命短，需要頻繁的進行膜體的更換，因此，具有不能提高玻璃板的生產(chǎn)性這種問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這種問題而開發(fā)的，其目的在于，提供一種可以提高板狀體的生產(chǎn)性的板狀體的研磨裝置。

為了實現(xiàn)所述目的，本發(fā)明提供一種板狀體的研磨裝置，具有：板狀體貼附部，其貼附板狀體；板狀體保持部，其保持所述板狀體貼附部；及研磨件，其與所述板狀體貼附部對向配置，對由所述板狀體貼附部貼附的所述板狀體的研磨面進行研磨，其中，所述板狀體貼附部在所述研磨件的對向面具有平面部分，在該平面部分具備板狀體的貼附部，所述平面部分由通過板狀體保持部保持的板狀部件構成，所述板狀體的研磨裝置具有加壓流體供給單元，所述加壓流體供給單元向所述板狀部件和所述板狀體保持部之間的空間供給加壓流體。

根據(jù)本發(fā)明，首先，使板狀體貼附在板狀體貼附部的平面部分所具備的貼附部，接著，使該板狀體貼附部被板狀體保持部保持。而且，使板狀體保持部和研磨件相對接近，將板狀體按壓在研磨件上，并且使板狀體保持部及研磨件沿著板狀體的研磨面相對移動，而對板狀體的研磨面進行研磨。

在本發(fā)明中，因未使用膜體而對板狀體進行研磨，所以能夠提高板狀體的生產(chǎn)性。板狀體貼附部的平面部分因研磨阻力，反復受到向拉伸方向伸縮的力，所以優(yōu)選為剛性高的金屬制。另外，通過使用楊氏模量等彈性率大的金屬或增加板厚，可以提高剛性。

另外，根據(jù)本發(fā)明，在從加壓流體供給單元向板狀部件和板狀體保持部之間的空間供給加壓流體時，貼附于所述貼附部的板狀體由所述加壓流體的壓力而按壓于研磨件。由此，根據(jù)本發(fā)明，由所述加壓流體對板狀體的各部分施加的壓力為均勻的壓力，所以可以一邊平坦地研磨板狀體一邊去除板狀體的表面的微小凹凸。

優(yōu)選本發(fā)明的所述平面部分由通過所述板狀體保持部保持的板狀部件構成，在所述板狀部件和所述板狀體保持部之間的空間配置有安裝于所述板狀體保持部的膜體，所述板狀體的研磨裝置具有加壓流體供給單元，所述加壓流體供給單元向所述膜體和所述板狀體保持部之間的空間供給加壓流體。

根據(jù)本發(fā)明，在從加壓流體供給單元向膜體和板狀體保持部之間的空間供給加壓流體時，因膜體膨脹，從而貼附于所述貼附部的板狀體在所述加壓流體的壓力的作用下按壓在研磨件上。由此，根據(jù)本發(fā)明，由所述加壓流體對板狀體的各部分施加的壓力為均勻的壓力，所以可以平坦地研磨板狀體并去除板狀體的表面的微小凹凸。

另外，本發(fā)明的板狀體的研磨裝置具有如現(xiàn)有的研磨裝置那樣的膜體，但本發(fā)明的膜體僅具備將板狀體加壓于研磨件的功能。即，就在研磨中生成的研磨阻力而言，是由板狀體貼附部的平面部分(板狀部件)承受。即，本發(fā)明使將板狀體加壓于研磨件的部件(膜體)和承受研磨阻力的部件(平面部分：板狀部件)作為不同的部件，可以實現(xiàn)膜體的長壽命化。

本發(fā)明優(yōu)選在所述板狀體保持部與所述板狀部件接觸的部位具有密封部。

根據(jù)本發(fā)明，利用密封部防止從加壓流體供給單元供給的加壓流體的泄漏，因此能夠高效地向板狀體傳遞加壓流體的壓力。