[發(fā)明專利]光照射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210067052.1
• 申請日: 2012-03-14
• 公開（公告）號: CN102671891A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 遠(yuǎn)藤真一;山森賢治;石原肇;川口真孝
• 申請（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機(jī)株式會社
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 徐冰冰;黃劍鋒

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體元件及平面面板顯示器的制造工序中、適合用于將晶片及玻璃基板等的基板的表面光清洗的光照射裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體元件、液晶顯示裝置等的平面面板顯示器、太陽電池等的制造工序中，一般來說，為了對于硅晶片及玻璃基板等的基板形成高緊貼性的薄膜，通過對基板的表面進(jìn)行清洗處理，進(jìn)行去除存在該基板表面上存在有機(jī)物等的污染物，作為對基板的表面進(jìn)行清洗處理的方法，廣泛利用不使用水及有機(jī)溶劑等的干式清洗方法。作為該干式清洗方法，已知有對被處理物的表面照射來自準(zhǔn)分子燈的準(zhǔn)分子光，并且通過作用利用準(zhǔn)分子光的照射而生成的自由基氧、臭氧等，清洗該被處理物的表面的光清洗法。

這種光清洗法所使用的光照射裝置，已知例如具備具有由合成石英玻璃構(gòu)成的紫外線透過窗的燈罩、和收納于此燈罩內(nèi)、放射紫外線的準(zhǔn)分子燈而成的結(jié)構(gòu)(參照專利文獻(xiàn)1)。

在該光照射裝置中，為了防止從準(zhǔn)分子燈放射的紫外線到達(dá)燈罩的紫外線透過窗為止被該燈罩內(nèi)的氣體吸收，進(jìn)行在燈罩內(nèi)填充氮?dú)獾鹊亩栊詺怏w并循環(huán)。所以，在光照射裝置中，需要設(shè)置使惰性氣體循環(huán)的循環(huán)機(jī)構(gòu)，為此，光照射裝置的制造成本變高，而且，在光照射裝置的使用時，需要使用氮?dú)獾榷栊詺怏w，所以存在被照射物的清洗處理的處理成本變高的問題。

于是，最近開發(fā)出紫外線放射強(qiáng)度高的準(zhǔn)分子燈，由此，即使來自該準(zhǔn)分子燈的紫外線被燈罩內(nèi)的氣體吸收，也可對被照射物照射充分強(qiáng)度的紫外線，所以提出有一邊將大氣導(dǎo)入至燈罩內(nèi)并從該燈罩的排氣口排出，一邊將來自準(zhǔn)分子燈的紫外線照射至被照射物的光照射裝置(參照專利文獻(xiàn)2)。

根據(jù)這種光照射裝置，因?yàn)椴恍枰O(shè)置使惰性氣體循環(huán)的循環(huán)機(jī)構(gòu)及高價的紫外線透過窗，所以能夠?qū)崿F(xiàn)光照射裝置的制造成本的降低化，而且，在光照射裝置的使用時不需要使用氮?dú)獾榷栊詺怏w，所以能夠?qū)崿F(xiàn)被照射物的清洗處理的處理成本的降低化。

然而，在上述光照射裝置中，判明存在如下問題：附著于被照射物的有機(jī)物等的污染物、與被導(dǎo)入至燈罩內(nèi)的大氣中所包含的AMC(Airborne?Molecular?Contaminants)等的污染物質(zhì)，通過利用來自準(zhǔn)分子燈的紫外線活性化而產(chǎn)生反應(yīng)，其反應(yīng)生成物堆積于燈罩的內(nèi)壁面之后，從該燈罩的內(nèi)壁面離散而附著于被照射物，所以難以可靠地完成所需要的光清洗處理。該現(xiàn)象與粒子污染被照射物不同。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平8-124540號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2004-290935號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明基于以上情況而完成，其目的在于提供能夠防止或抑制附著于被照射物的有機(jī)物等的污染物與大氣中所包含的污染物質(zhì)的反應(yīng)生成物附著于被照射物、所以能夠可靠完成所需要的光清洗處理的光照射裝置。

本發(fā)明的光照射裝置，其特征為，具備：準(zhǔn)分子燈；燈罩，以包圍該準(zhǔn)分子燈的方式設(shè)置，具有將來自該準(zhǔn)分子燈的光向外部射出的開口和將內(nèi)部的氣體排出的氣體排出口；以及氣體排出機(jī)構(gòu)，將大氣從該燈罩的開口向該燈罩的內(nèi)部導(dǎo)入，并從該燈罩的氣體排出口排出；在上述準(zhǔn)分子燈上設(shè)置有光遮蔽單元，該光遮蔽單元以該準(zhǔn)分子燈的放射光不照射到上述燈罩內(nèi)的形成氣體流通路徑的壁面的方式遮蔽該放射光。

在本發(fā)明的光照射裝置中，優(yōu)選為，上述光遮蔽單元是形成在上述準(zhǔn)分子燈的放電容器的內(nèi)面或外面上的光遮蔽膜。

而且，優(yōu)選為，上述光遮蔽膜是具有將在上述準(zhǔn)分子燈的放電容器內(nèi)產(chǎn)生的光反射的光反射功能的部件。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的光照射裝置，通過在準(zhǔn)分子燈上設(shè)置以其放射光不照射到燈罩內(nèi)的形成氣體流通路徑的壁面的方式遮蔽該放射光的光遮蔽單元，由此防止或抑制來自準(zhǔn)分子燈的光線照射至流動于燈罩內(nèi)的氣體流通路徑的大氣，結(jié)果，可防止或抑制附著于被照射物的有機(jī)物等的污染物與被導(dǎo)入至燈罩內(nèi)的大氣中所包含的污染物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)的情況，所以可防止或抑制其反應(yīng)生成物附著于被照射物，所以，能夠可靠完成對被處理物的所需要的光清洗處理。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的光照射裝置的一例的構(gòu)成概況的說明用剖視圖。

圖2是表示圖1示出的光照射裝置的準(zhǔn)分子燈的構(gòu)成的說明用剖視圖，(a)是縱剖視圖，(b)是橫剖視圖。

標(biāo)記說明

10：準(zhǔn)分子燈

11：放電容器

11a：上壁部

11b：下壁部

11c，11d，11e，11f：側(cè)壁部

12：一方的電極

13：另一方的電極

15：光遮蔽膜