[發明專利]光照射裝置有效
| 申請號: | 201210067052.1 | 申請日: | 2012-03-14 |
| 公開(公告)號: | CN102671891A | 公開(公告)日: | 2012-09-19 |
| 發明(設計)人: | 遠藤真一;山森賢治;石原肇;川口真孝 | 申請(專利權)人: | 優志旺電機株式會社 |
| 主分類號: | B08B7/00 | 分類號: | B08B7/00 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐冰冰;黃劍鋒 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 照射 裝置 | ||
1.一種光照射裝置,其特征在于,具備:
準分子燈;
燈罩,以包圍該準分子燈的方式設置,具有將來自該準分子燈的光向外部射出的開口和將內部的氣體排出的氣體排出口;以及
氣體排出機構,將大氣從該燈罩的開口向該燈罩的內部導入,并從該燈罩的氣體排出口排出;
在上述準分子燈上設置有光遮蔽單元,該光遮蔽單元以該準分子燈的放射光不照射到上述燈罩內的形成氣體流通路徑的壁面的方式遮蔽該放射光。
2.如權利要求1所述的光照射裝置,其特征在于,
上述光遮蔽單元是形成在上述準分子燈的放電容器的內面或外面上的光遮蔽膜。
3.如權利要求2所述的光照射裝置,其特征在于,
上述光遮蔽膜是具有將在上述準分子燈的放電容器內產生的光反射的光反射功能的部件。
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