[發(fā)明專利]一種可實現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機噴淋裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210065001.5
• 申請日: 2012-01-13
• 公開（公告）號: CN103207540A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏志凌;高小平;張煒平
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

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技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于印刷掩模板的顯影技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可實現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機噴淋裝置。

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背景技術(shù)

隨著電子行業(yè)發(fā)展的日益加快，印刷線路掩膜板的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛，這也相應(yīng)的要求其相關(guān)的工藝能滿足日益更新的發(fā)展需求。

印刷線路板模板制作常采用基板貼干膜→曝光→顯影→電鑄的工藝流程進行制作，電鑄模板開口孔壁光滑，尺寸精密，模板使用中下錫良好。高質(zhì)量的電鑄板要求有高質(zhì)量的顯影圖形轉(zhuǎn)移，顯影過程中要求顯影能力均勻穩(wěn)定，顯影能力不穩(wěn)定容易出現(xiàn)一部分區(qū)域圖形干膜過顯或顯影不足，電鑄過程中會出現(xiàn)滲鍍，導(dǎo)致制作的電鑄模板開口不光滑，有毛刺，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

噴淋是顯影過程中一個重要的步驟，對顯影能力均勻穩(wěn)定有著極大的影響。目前現(xiàn)有技術(shù)中的噴嘴一般是矩陣式的排布，每根噴管上噴嘴均勻等間距按相同的規(guī)律排列，相鄰噴管的噴嘴排布無交錯，當(dāng)噴液為大角度扇形時，相鄰兩噴管上的相鄰兩噴嘴噴出的顯影液會出現(xiàn)碰撞現(xiàn)象，會影響噴液的局部壓力。

故，針對目前現(xiàn)有技術(shù)中噴嘴存在的缺陷，有必要對顯影機噴淋裝置進行研究，提供一種方案，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷。

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發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可實現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機噴淋裝置，其通過對顯影機噴嘴的排布方式進行調(diào)整，使顯影機具備均勻穩(wěn)定的顯影能力。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：

一種可實現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機噴淋裝置，包括有復(fù)數(shù)個噴管，其中，所述顯影機噴淋裝置在垂直顯影機傳送方向上設(shè)置有雙重控制，即搖擺的搖擺控制和噴嘴的扇面噴液控制。

進一步地，所述搖擺的搖擺控制為：將安裝有噴嘴的噴盤固定在一個垂直于傳送方向的軌道上，噴盤由一個偏心輪帶動，偏心輪上裝有電動機；顯影機開機后，電動機啟動，帶動偏心輪運動，偏心輪帶動噴盤做往復(fù)運動，搖擺自動開始，溶液噴起，搖擺是沿垂直于基板前行方向，整個噴盤作往復(fù)運動，使整個基板各個地方都能接受到相同的噴淋壓力。

進一步地，所述噴盤上設(shè)置有若干相互平行且平行于顯影機傳送方向的噴管，所述噴管上等間距設(shè)置有噴嘴，相鄰兩個噴管上噴嘴的位置相互錯開，且錯開位置一致；顯影機工作時，所述顯影機的噴嘴噴出來的溶液形狀呈扇面，且扇面垂直于顯影機傳送方向。

本發(fā)明影機噴淋裝置在垂直顯影機傳送方向上采用雙重控制方式，即搖擺的搖擺控制及噴嘴的扇面噴液控制，使得顯影液在垂直于顯影機傳送方向上噴灑更加均勻，從而到達(dá)顯影機顯影能力穩(wěn)定均勻的效果。

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附圖說明

圖1是本發(fā)明影機噴淋裝置的組合圖示。

圖2是本發(fā)明影機噴淋裝置的噴管圖示。

圖3是本發(fā)明的顯影機工作時噴液管噴液正面圖示（沿圖1中A-A′方向）。

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具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明顯影機噴淋裝置在垂直顯影機傳送方向上設(shè)置有雙重控制，即搖擺的搖擺控制和噴嘴的扇面噴液控制。其中，搖擺的搖擺控制為：將裝有噴嘴的噴盤固定在一個垂直于傳送方向的軌道上，噴盤由一個偏心輪帶動，偏心輪上裝有電動機。顯影機開機后，電動機啟動，帶動偏心輪運動，偏心輪帶動噴盤做往復(fù)運動。搖擺自動開始，溶液噴起，搖擺是沿垂直于基板前行方向，整個噴盤作往復(fù)運動，使整個基板各個地方都能接受到相同的噴淋壓力。而噴嘴的扇面噴液控制是通過噴嘴的特殊設(shè)計來達(dá)到的，當(dāng)噴液達(dá)到一定壓力后，噴嘴噴淋出的液體為扇面，通過調(diào)節(jié)壓力可以控制扇面的扇面角。通過該雙重控制方式，使得顯影液在垂直于顯影機傳送方向上噴灑更加均勻，從而到達(dá)顯影機顯影能力穩(wěn)定均勻的效果。