[發(fā)明專利]一種可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210065001.5
• 申請(qǐng)日: 2012-01-13
• 公開（公告）號(hào): CN103207540A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏志凌;高小平;張煒平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，包括有復(fù)數(shù)個(gè)噴管，其特征在于：所述顯影機(jī)噴淋裝置在垂直顯影機(jī)傳送方向上設(shè)置有雙重控制，即搖擺的搖擺控制和噴嘴的扇面噴液控制。

2.如權(quán)利要求1所述的可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，其特征在于：所述搖擺的搖擺控制為：將安裝有噴嘴的噴盤固定在一個(gè)垂直于傳送方向的軌道上，噴盤由一個(gè)偏心輪帶動(dòng)，偏心輪上裝有電動(dòng)機(jī)；顯影機(jī)開機(jī)后，電動(dòng)機(jī)啟動(dòng)，帶動(dòng)偏心輪運(yùn)動(dòng)，偏心輪帶動(dòng)噴盤做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，搖擺自動(dòng)開始，溶液噴起，搖擺是沿垂直于基板前行方向，整個(gè)噴盤作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使整個(gè)基板各個(gè)地方都能接受到相同的噴淋壓力。

3.如權(quán)利要求1所述的可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，其特征在于：所述噴盤上設(shè)置有若干相互平行且平行于顯影機(jī)傳送方向的噴管，所述噴管上等間距設(shè)置有噴嘴，相鄰兩個(gè)噴管上噴嘴的位置相互錯(cuò)開，且錯(cuò)開位置一致；顯影機(jī)工作時(shí)，所述顯影機(jī)的噴嘴噴出來(lái)的溶液形狀呈扇面，且扇面垂直于顯影機(jī)傳送方向。

4.如權(quán)利要求2或3所述的可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，其特征在于：所述噴嘴安裝在每個(gè)平行噴管上，噴管固定在噴盤上，噴盤邊上有噴管進(jìn)液，顯影開機(jī)后整個(gè)噴盤開始擺動(dòng)。

5.如權(quán)利要求4所述的可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，其特征在于：顯影機(jī)開啟后，電動(dòng)機(jī)啟動(dòng)，泵開始運(yùn)轉(zhuǎn)，泵從儲(chǔ)液槽中泵出溶液，由噴嘴噴出；噴嘴噴出的溶液形成一個(gè)個(gè)的扇面，隨著搖擺的運(yùn)動(dòng)，噴出的扇面溶液來(lái)回的掃動(dòng)。

6.如權(quán)利要求5所述的可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，其特征在于：顯影基板從噴盤的前端進(jìn)入時(shí)，扇面溶液來(lái)回掃動(dòng)，將基板上能溶于顯影液的未曝光干膜溶解，進(jìn)入溶液中，不溶于顯影液的曝光干膜留在基板上，形成所需要的圖形。

7.如權(quán)利要求6所述的可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，其特征在于：通過調(diào)整噴嘴與芯模的距離L、扇面的角度θ、相鄰兩噴嘴的距離S以及噴盤的搖擺頻率可以控制顯影機(jī)顯影能力。

8.如權(quán)利要求7所述的可實(shí)現(xiàn)均勻穩(wěn)定顯影的顯影機(jī)噴淋裝置，其特征在于：顯影機(jī)工作時(shí)，相鄰噴管上噴嘴噴出的扇面溶液噴淋區(qū)域邊緣之間設(shè)置有一定程度的重合部分。