[發(fā)明專利]基板輸送方法及基板輸送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210063579.7
• 申請(qǐng)日: 2012-03-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102683252A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山岸大祐;小山勝?gòu)?/a>;佐藤正孝;竹內(nèi)靖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;C23C16/56
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種基板輸送方法，其用于對(duì)層疊體進(jìn)行輸送，該層疊體由背面彼此相對(duì)的第1基板和第2基板隔著隔離構(gòu)件層疊而成，該基板輸送方法包括下述工序：

利用設(shè)在第1叉狀件的一側(cè)的第1夾持機(jī)構(gòu)，自收容在收容部的上述第1基板的背面的下方夾持上述第1基板來(lái)承接上述第1基板，使上述第1叉狀件上下翻轉(zhuǎn)而將承接的上述第1基板載置于第2叉狀件，其中，上述第1叉狀件設(shè)在上述第2叉狀件的上方；

利用與上述第1夾持機(jī)構(gòu)設(shè)在上述第1叉狀件的同一側(cè)的第2夾持機(jī)構(gòu)自保持在基板保持部的隔離構(gòu)件的上方夾持該隔離構(gòu)件來(lái)承接該隔離構(gòu)件，將承接的上述隔離構(gòu)件載置在已載置于上述第2叉狀件的上述第1基板上；

利用上述第1夾持機(jī)構(gòu)自收容在上述收容部的第2基板的表面的上方夾持該第2基板來(lái)承接第2基板，將承接的上述第2基板載置在已載置于上述第2叉狀件的上述隔離構(gòu)件上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送方法，其中，

在夾持上述第1基板的工序中，利用上述第1夾持機(jī)構(gòu)的第1按壓部，將上述第1基板向上述第1夾持機(jī)構(gòu)的第1爪部側(cè)按壓，從而在上述第1爪部和上述第1按壓部之間夾持上述第1基板，該第1爪部被固定于上述第1叉狀件的頂端部，該第1按壓部以能夠相對(duì)于該第1爪部進(jìn)退的方式設(shè)在上述第1叉狀件的基端部側(cè)，

在夾持上述隔離構(gòu)件的工序中，利用上述第2夾持機(jī)構(gòu)的第2按壓部將上述隔離構(gòu)件向上述第2夾持機(jī)構(gòu)的第2爪部側(cè)按壓，從而在上述第2爪部和上述第2按壓部之間夾持上述隔離構(gòu)件，該第2爪部被固定于上述第1叉狀件的上述頂端部，該第2按壓部以能夠相對(duì)于該第2爪部進(jìn)退的方式設(shè)在上述第1叉狀件的上述基端部側(cè)，

在夾持上述第2基板的工序中，利用上述第1按壓部將上述第2基板向上述第1爪部側(cè)按壓，從而在上述第1爪部和上述第1按壓部之間夾持上述第2基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送方法，其中，

在夾持上述隔離構(gòu)件的工序中，以支承在上述第2夾持機(jī)構(gòu)的上述隔離構(gòu)件的中心位置成為與在夾持上述第1基板的工序中支承在上述第1夾持機(jī)構(gòu)的上述第1基板的中心位置和在夾持上述第2基板的工序中支承在上述第1夾持機(jī)構(gòu)的上述第2基板的中心位置不同的位置的方式，自上述隔離構(gòu)件的上方夾持上述隔離構(gòu)件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送方法，其中，

該基板輸送方法還包括：在殼體的內(nèi)部將各上述隔離構(gòu)件對(duì)位成同一旋轉(zhuǎn)角度的工序，

上述收容部設(shè)在殼體的外部，該殼體的內(nèi)部設(shè)有上述基板保持部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送方法，其中，

上述隔離構(gòu)件具有環(huán)形狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送方法，其中，

上述基板保持部以上述第1基板和第2基板中的、背面彼此相對(duì)且上下相鄰的兩張基板之間的間隔小于表面彼此相對(duì)且上下相鄰的兩張基板之間的間隔的方式保持多個(gè)上述層疊體。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送方法，其中，

在將上述第1基板載置于第2叉狀件的工序、將上述隔離構(gòu)件載置于第2叉狀件上的第1基板上的工序和將上述第2基板載置于上述第2叉狀件上的隔離構(gòu)件的工序中的至少一個(gè)工序中，使上述第1叉狀件和上述第2叉狀件中的任一者沿著上下方向移動(dòng)而接近另一者。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送方法，其中，

該基板輸送方法還具有利用升降機(jī)構(gòu)使上述第1叉狀件和上述第2叉狀件一體地上下移動(dòng)的工序。

9.一種基板輸送裝置，其包括：

第1叉狀件，其以能夠相對(duì)于基板保持部進(jìn)退的方式設(shè)置，用于在該第1叉狀件與上述基板保持部之間進(jìn)行層疊體的交接，該層疊體由背面彼此相對(duì)的兩張基板隔著隔離構(gòu)件層疊而成；

第2叉狀件，其以相對(duì)于用于收容上述基板的收容部和相對(duì)于上述基板保持部都能夠進(jìn)退且能夠上下翻轉(zhuǎn)的方式設(shè)在上述第1叉狀件的上方，該第2叉狀件用于在上述收容部和上述第1叉狀件之間按順序交接上述基板，并且在上述基板保持部和上述第1叉狀件之間交接上述隔離構(gòu)件；

第1夾持機(jī)構(gòu)，其設(shè)在上述第2叉狀件的一側(cè)，用于自上述基板的上方或者下方一張一張地夾持上述基板；

第2夾持機(jī)構(gòu)，其與上述第1夾持機(jī)構(gòu)設(shè)在上述第2叉狀件的同一側(cè)，該第2夾持機(jī)構(gòu)用于自上述隔離構(gòu)件的上方夾持上述隔離構(gòu)件。