[發(fā)明專利]具有改進(jìn)的熱穩(wěn)定性的傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210061967.1
• 申請(qǐng)日: 2012-01-13
• 公開（公告）號(hào): CN102680035A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: Y-F·王;S·E·貝克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 霍尼韋爾國(guó)際公司
• 主分類號(hào): G01F1/69
• 分類號(hào): G01F1/69
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;盧江

技術(shù)領(lǐng)域

本公開大體涉及傳感器，且更具體地，涉及包括加熱器電阻器和/或一個(gè)或多個(gè)傳感器電阻器的傳感器。

背景技術(shù)

傳感器被用于多種應(yīng)用中。有些傳感器包括加熱器電阻器和/或一個(gè)或多個(gè)傳感器電阻器。這樣的傳感器可能包括一些流量傳感器、一些熱傳導(dǎo)傳感器、一些化學(xué)傳感器、和/或其它類型傳感器。在一些環(huán)境下，這樣的傳感器可能變得熱不穩(wěn)定，這可能影響它們的準(zhǔn)確度和/或可靠性。例如，當(dāng)傳感器包括具有正電阻溫度系數(shù)(TCR)的加熱器電阻器，并且由恒流電源驅(qū)動(dòng)時(shí)，加熱器電阻器的溫度會(huì)升高，這隨后可能導(dǎo)致該加熱器電阻器的電阻進(jìn)一步增大，這可使該加熱器電阻器的溫度進(jìn)一步升高，等等。這種循環(huán)通?？蓪?dǎo)致該加熱器電阻器和/或該傳感器的損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本公開大體涉及傳感器，且更具體地，涉及包括加熱器電阻器和/或一個(gè)或多個(gè)傳感器電阻器的傳感器。在一示例性實(shí)施例中，傳感器可以包括加熱器電阻器、第一感測(cè)電阻器、和第二感測(cè)電阻器(由襯底支承)。在一些情況下，該加熱器電阻器可以被配置為具有零或者接近零的電阻溫度系數(shù)(TCR)，在一些情況下，這可有助于增強(qiáng)傳感器的熱穩(wěn)定性和/或可靠性。在一些實(shí)施例中，該加熱器電阻器可能包括摻雜有第一濃度摻雜劑的多晶硅材料以實(shí)現(xiàn)該零或接近零的電阻溫度系數(shù)(TCR)。第一和/或第二感測(cè)電阻器可以被配置為比該加熱器電阻器具有更高的電阻溫度系數(shù)(TCR)。在一些情況下，具有第二更高濃度的摻雜劑和/或不同摻雜材料的多晶硅材料可被用于第一和第二感測(cè)電阻器以實(shí)現(xiàn)更高電阻溫度系數(shù)，但這不被要求。其它的材料也可用于第一和第二感測(cè)電阻器。

提供前述的發(fā)明內(nèi)容以幫助理解本公開的一些特征，并不意圖作為完整描述。通過整體理解整個(gè)說明書、權(quán)利要求書、附圖和摘要可以得到本公開的完整理解。

附圖說明

結(jié)合附圖參考本公開各種示例性實(shí)施例的以下詳細(xì)描述可以更完整理解本公開，其中：

圖1是示例性的流量感測(cè)管芯(flow?sensing?die)的示意性的頂視圖；

圖2是圖1中示例性的流量感測(cè)管芯沿著線2-2取的示意性的剖視圖；

圖3是另一個(gè)示例性的流量傳感器管芯的示意性的頂視圖；

圖4是圖3中示例性的流量傳感器管芯沿著線4-4取的示意性的剖視圖；

圖5A-B是示出制造圖1所示的流量感測(cè)管芯的示例性方法的剖視圖；以及

圖6A-C是示出制造圖1所示的流量感測(cè)管芯的另一個(gè)示例性方法的剖視圖。

具體實(shí)施方式

以下描述應(yīng)該參考附圖進(jìn)行閱讀，其中在幾個(gè)示圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的元件。描述和附圖示出了幾個(gè)實(shí)施例，其意指對(duì)本公開的例示，而不是限制。

圖1和圖2是用于測(cè)量沿流向經(jīng)過流體通道的流體的流體流量的流量感測(cè)管芯100的示例性實(shí)施例的示意性頂視圖和剖視圖，所述流體通道可以穿過空隙(void)110設(shè)置在流量感測(cè)管芯100的底部或者設(shè)置在流量感測(cè)管芯100的頂部。雖然流量傳感器用作示例，設(shè)想的是，本公開可以用于任何合適的傳感器(其包括例如加熱器電阻器和/或一個(gè)或多個(gè)傳感器電阻器)中。這樣的傳感器視需要可以包括，例如，一些流量傳感器，一些熱傳導(dǎo)傳感器，一些化學(xué)傳感器，和/或其它類型的傳感器。同樣，取決于應(yīng)用，這里所用的術(shù)語“流體”可以指氣體或液體。在圖1的示例性實(shí)施例中，流量感測(cè)管芯100可以暴露于和/或布置在流體通道內(nèi)以測(cè)量流體流的一個(gè)或多個(gè)屬性。例如，該流量感測(cè)管芯100可以是用于測(cè)量流體流的質(zhì)量流量和/或速度的流量傳感器。