[發明專利]基板浮起搬送方法、基板浮起搬送裝置和基板處理裝置

有效

• 申請號: 201210061866.4
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102674004A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 稻益壽史;宮崎文宏
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00;B65G54/02;B65G43/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種基板浮起搬送方法，其通過從浮起臺的浮起面噴出的氣體的壓力使基板浮起在空中，并將浮起在空中的所述基板在所述浮起臺上在水平方向上搬送，該基板浮起搬送方法的特征在于：

將所述浮起臺的浮起面劃分為多個浮起區域，

以根據所述基板的種類、屬性或彎曲狀態或所述基板的部位，使所述氣體的噴出壓力按各個所述浮起區域能夠獨立地變化，或者開啟·關閉的方式進行控制。

2.如權利要求1所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

所述浮起臺的浮起面，在搬送方向上被劃分為多個所述浮起區域。

3.如權利要求1所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

所述浮起臺的浮起面，在與搬送方向交叉的水平方向上被劃分為多個所述浮起區域。

4.如權利要求1所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

所述浮起臺的浮起面，在搬送方向和與搬送方向交叉的水平方向上被劃分為多個所述浮起區域。

5.如權利要求1～4中的任一項所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

針對在搬送方向上并排配置的至少一組所述浮起區域，根據所述基板的被選擇的規定的部位是否在正上方或者在其附近，以使各個所述浮起區域中的高壓氣體的噴出壓力能夠變化，或者開啟·關閉的方式進行控制。

6.如權利要求1～4中的任一項所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

在所述浮起臺的至少一部分的區域中，以使得相對于所述基板的被選擇的規定部位的高壓氣體的噴出壓力比相對于所述基板的其它部位的高壓氣體的噴出壓力高的方式，進行使所述區域內的各個所述浮起區域中的高壓氣體的噴出壓力根據所述基板的移動依次變化，或者開啟·關閉的控制。

7.如權利要求6所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

當所述基板在其中心部與周緣部之間彎曲時，在所述浮起臺的至少一部分的區域中，以使得相對于所述基板的周緣部的高壓氣體的噴出壓力比相對于所述基板的中心部的高壓氣體的噴出壓力相對變高或者相對變低的方式，進行使所述區域內的各個所述浮起區域中的高壓氣體的噴出壓力配合所述基板的移動依次變化，或者開啟·關閉的控制。

8.如權利要求6所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

當所述基板在搬送方向的前后兩端部與中間部之間彎曲時，在所述浮起臺的至少一部分的區域中，以使得相對于所述基板的前后兩端部的高壓氣體的噴出壓力比相對于所述基板的中間部的高壓氣體的噴出壓力相對變高或者相對變低的方式，進行使所述區域內的各個所述浮起區域中的高壓氣體的噴出壓力根據所述基板的移動依次變化，或者開啟·關閉的控制。

9.如權利要求6所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

當所述基板在搬送方向的左右兩端部與中間部之間彎曲時，在所述浮起臺的至少一部分的區域中，以使得相對于所述基板的左右兩端部的高壓氣體的噴出壓力比相對于所述基板的中間部的高壓氣體的噴出壓力相對變高或者相對變低的方式，進行使所述區域內的各個所述浮起區域中的高壓氣體的噴出壓力根據所述基板的移動依次變化，或者開啟·關閉的控制。

10.如權利要求1～4中的任一項所述的基板浮起搬送方法，其特征在于：

在所述浮起臺的至少一部分的區域中，根據所述基板的任意的部位是否在正上方或者其附近，進行使所述區域內的各個所述浮起區域中的高壓氣體的噴出壓力根據所述基板的移動能夠依次變化，或者開啟·關閉的控制。

11.一種基板浮起搬送裝置，其特征在于，包括：

浮起臺，具有被劃分為多個浮起區域的浮起面，從所述浮起面噴出高壓的氣體，使基板浮在空中；

送出高壓氣體的高壓氣體供給源；

噴出壓力控制部，設置于所述高壓氣體供給源與多個所述浮起區域之間，根據所述基板的種類、屬性或者彎曲狀態或者所述基板的部位，進行使高壓氣體的噴出壓力按各個所述浮起區域能夠獨立地變化，或者開啟·關閉的控制；和

基板搬送部，將浮在空中的所述基板以能夠裝卸的方式保持，并在所述浮起臺上搬送。

12.如權利要求11所述的基板浮起搬送裝置，其特征在于：

所述浮起臺的浮起面，在搬送方向上被劃分為多個所述浮起區域。