[發明專利]基板浮起搬送方法、基板浮起搬送裝置和基板處理裝置

有效

• 申請號: 201210061866.4
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102674004A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 稻益壽史;宮崎文宏
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00;B65G54/02;B65G43/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及在浮起臺上浮起搬送基板的基板浮起搬送方法和裝置以及在浮起搬送中對基板實施所期望的處理的基板處理裝置。

背景技術

例如，在平板顯示器(FPD：Flat?Panel?Display)制造的光蝕刻工序中，使用通過一邊在浮起臺上浮起搬送被處理基板(例如玻璃基板)，一邊使抗蝕劑液從設置于浮起臺上方的長條形的噴嘴噴出，從基板上的一端至另一端涂敷抗蝕劑液的浮起搬送方式的抗蝕劑涂敷裝置。

用于這樣的浮起搬送方式的抗蝕劑涂敷裝置的浮起臺，從其上表面(浮起面)向垂直上方噴出高壓的氣體(通常為空氣)，通過其高壓氣體的壓力使基板以水平姿勢浮起。而且，配置于浮起臺的左右兩側的直線運動型的搬送部，將浮起在浮起臺上的基板以能夠安裝拆卸的方式保持，并在浮起臺的長邊方向上搬送基板。

通常，浮起臺的上表面(浮起面)，沿搬送方向劃分為三個區域，具體是搬入區域、涂敷區域和搬出區域。涂敷區域在此是對基板上供給抗蝕劑液的區域，長條形抗蝕劑噴嘴配置于涂敷區域的中心部的上方。涂敷區域中的浮起高度規定抗蝕劑噴嘴的下端(排出口)與基板上表面(被處理面)之間的涂敷間隙。該涂敷間隙是左右抗蝕劑涂敷膜的膜厚和抗蝕劑消耗量的重要的參數，需要以較高的精度維持不變。根據該情況，在涂敷區域的浮起面也設置有多個混合存在于噴出高壓氣體的噴出口以負壓吸入周圍的氣體(空氣)的吸引口。而且，對通過基板的涂敷區域的部分，從噴出口施加因高壓氣體的垂直向上的力，同時從吸引口施加因負壓吸引力的垂直向下的力，通過控制互相對抗的兩個方向的力的平衡，以較大的浮起剛性穩定地保持規定的浮起高度(通常30～60μm)，當基板發生彎曲時，將其矯正為水平。另外，為了在涂敷區域中穩定地保持那樣精密的浮起高度，例如也使用光學式的浮起高度傳感器進行反饋控制。

對此，搬入區域是搬入基板和開始浮起搬送的區域，搬出區域是結束浮起搬送和搬出基板的區域。通常，搬入區域和搬出區域，以在一個表面上不設置吸引口而僅僅設置噴出口，浮起高度通常保持在200～2000μm的范圍內的方式，使高壓空氣以基于開環路控制的一定的噴出壓力從各噴出口噴出。

此外，這種浮起臺的浮起高度，是基板的最下部與浮起臺上表面(浮起面)之間的距離間隔。所以例如當沿矩形的基板的周緣部下降的方向時，其基板周緣部的下端與浮起臺上表面(浮起面)之間的距離間隔為浮起高度。

現有技術文獻

專利文獻1：日本特開2005-244155號公報

發明內容

發明想要解決的問題

在現有的這種的抗蝕劑涂敷裝置中，以在浮起搬送中基板不摩擦浮起臺(特別是搬入區域或者搬出區域)的浮起面的方式，以在被處理對象中設想的最難浮起的基板或者彎曲最大的基板為基準，較高設定高壓氣體的噴出壓力。然而，根據該問題，當容易浮起且彎曲的少的基板被搬入到浮起臺上時，高壓氣體的噴出壓力變得過剩，存在過多消耗高壓氣體的問題。還有，當高壓氣體的噴出壓力過剩時，存在搬入區域和搬出區域中的浮起高度超過最佳范圍(200～2000μm)的問題。如果這樣，涂敷區域側的負擔、即浮起剛性變強，保持精密浮起高度(30～60μm)的負擔增大，即使在涂敷區域也具有高壓氣體和真空的用電消耗量增加的問題。

本發明解決上述那樣的現有技術的問題，提供一種基板浮起搬送方法和基板浮起搬送裝置，其使浮起臺的基板的浮起高度和姿勢最優化，并且改善浮起用高壓氣體的消耗效率。

還有，本發明提供改善涂敷處理的可靠性、可重復性和效率的基板處理裝置。

用于解決課題的方法

本發明的基板浮起搬送方法，通過從浮起臺的浮起面噴出的氣體的壓力使基板浮在空中，并將浮在空中的上述基板在上述浮起臺上在水平方向上搬送，該基板浮起搬送方法的特征在于：將上述浮起臺的浮起面劃分為多個浮起區域，以根據上述基板的種類、屬性或彎曲狀態或上述基板的部位，使上述氣體的噴出壓力按各個上述浮起區域能夠獨立地變化，或者開啟·關閉的方式進行控制。

另外，本發明的基板浮起搬送裝置，包括：浮起臺，具有被劃分為多個浮起區域的浮起面，從上述浮起面噴出高壓的氣體，使基板浮在空中；送出高壓氣體的高壓氣體供給源；噴出壓力控制部，設置于上述高壓氣體供給源與多個上述浮起區域之間，根據上述基板的種類、屬性或者彎曲狀態或者上述基板的部位，進行使高壓氣體的噴出壓力按各個上述浮起區域能夠獨立地變化，或者開啟·關閉控制；和基板搬送部，將浮在空中的上述基板以能夠裝卸的方式保持，并在上述浮起臺上搬送。